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            氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀(yi)是壹(yi)種靈敏度很(hen)高(gao)且(qie)常(chang)用的檢(jian)漏技(ji)術(shu)儀(yi)器。在(zai)真空(kong)設(she)備泄(xie)漏情況(kuang)的檢(jian)查(zha)之(zhi)中(zhong)也有專(zhuan)業(ye)的儀(yi)器保(bao)證了(le)檢(jian)查(zha)效(xiao)果的穩定(ding)性,而(er)且(qie)氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀(yi)的線路檢(jian)測能(neng)力(li)得到(dao)了更(geng)好的提升(sheng),該所產(chan)品也在(zai)我國具體(ti)泄(xie)漏問(wen)題(ti)的解(jie)決上(shang)帶(dai)來(lai)了更(geng)多的措(cuo)施,在(zai)我國真空(kong)問題(ti)的檢(jian)查(zha)之(zhi)上(shang)這種(zhong)氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀(yi)憑(ping)借著其(qi)強大(da)的優(you)勢(shi)獲得了(le)更(geng)好的應(ying)用(yong),今(jin)天來(lai)了解(jie)下氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏時(shi)的誤差(cha)來(lai)源(yuan)有哪(na)些(xie),以(yi)便(bian)更(geng)好地降低(di)或消(xiao)除(chu)測(ce)量(liang)誤差(cha)。
            檢(jian)漏儀(yi)氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏時(shi),產(chan)生(sheng)測(ce)量(liang)誤差(cha)的主要(yao)來(lai)源(yuan)主要(yao)包(bao)括(kuo)以(yi)下幾(ji)個方面(mian):
            1.氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀(yi)在(zai)校準靈(ling)敏度時(shi),標(biao)準(zhun)漏(lou)孔(kong)所在(zai)的位置(zhi)與(yu)被(bei)檢(jian)漏孔(kong)的位置(zhi)不同(tong),即(ji)標(biao)準(zhun)漏孔(kong)與(yu)被(bei)檢(jian)漏孔(kong)至檢(jian)漏儀(yi)的距離相差(cha)太(tai)大(da),漏(lou)入(ru)氦(hai)氣(qi)在(zai)途中(zhong)損失(shi)不相等,這會(hui)導致(zhi)經(jing)二者進入檢(jian)漏儀(yi)的氦(hai)氣(qi)量(liang)可比(bi)性(xing)差(cha);
            2.進入被(bei)檢(jian)漏孔(kong)和(he)標(biao)準(zhun)漏(lou)孔(kong)的氦(hai)氣(qi)壓(ya)力(li)或分(fen)壓(ya)比不相等,或者(zhe)不能準(zhun)確地給(gei)出(chu)氦(hai)氣(qi)壓(ya)力(li)和(he)分(fen)壓(ya)比的數值(zhi)而(er)導致(zhi)無(wu)法(fa)換算,這時(shi)也會(hui)產(chan)生(sheng)漏(lou)率(lv)測量(liang)誤差(cha);
            3.所用(yong)標準漏(lou)孔(kong)的標稱漏率(lv)有誤差(cha);
            4.氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀(yi)輸出(chu)指示(shi)與(yu)漏率(lv)的線性(xing)關(guan)系差(cha);
            5.校準靈(ling)敏度或用(yong)比較法(fa)確定(ding)漏孔(kong)漏率(lv)時(shi),所用(yong)標準漏(lou)孔(kong)與(yu)被(bei)檢(jian)漏孔(kong)的氣(qi)流特性不同(tong);
            6.檢(jian)漏儀(yi)的性能(neng)不穩定(ding);
            7.氦(hai)氣(qi)純度不穩定(ding)或存在(zai)誤差(cha);
            8.後(hou)也就是檢(jian)漏操(cao)作(zuo)人(ren)員(yuan)的因素,包(bao)括(kuo)素質(zhi)、責任(ren)心、技(ji)術(shu)水(shui)平以(yi)及工(gong)作經(jing)驗(yan)等。

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