簡要介紹(shao)愛發科真空泵(beng)的工作原(yuan)理與(yu)主(zhu)要部件

 

　　工作原(yuan)理

 

　　真空泵(beng)的基(ji)本(ben)工作原(yuan)理是通過(guo)機(ji)械(xie)、物理(li)或化學(xue)的方法將氣(qi)體(ti)從壹個(ge)封閉(bi)空(kong)間(jian)中(zhong)排(pai)出，從而(er)在該(gai)空(kong)間(jian)內(nei)形成低(di)壓（真空）狀態。具(ju)體(ti)到(dao)愛發科真空泵(beng)，可以(yi)分為以下(xia)幾類，每類真空泵(beng)的工作原(yuan)理有(you)所(suo)不同：

 

　　1.旋片(pian)式(shi)真空泵(beng)：旋片(pian)式(shi)真空泵(beng)通過(guo)旋轉的轉子(zi)和帶(dai)有(you)彈簧(huang)的旋片(pian)來捕捉(zhuo)和(he)壓縮(suo)氣(qi)體(ti)。轉子(zi)偏心(xin)安裝(zhuang)在泵(beng)腔(qiang)內(nei)，旋片(pian)在離心(xin)力和(he)彈(dan)簧力的作用(yong)下(xia)緊貼泵腔(qiang)壁(bi)。當轉子(zi)旋轉時(shi)，氣(qi)體(ti)被捕獲(huo)到旋片(pian)間(jian)的空腔(qiang)中(zhong)，並(bing)隨著轉子(zi)的旋轉逐漸(jian)被壓(ya)縮(suo)排(pai)出。

 

　　2.羅茨真空泵(beng)：羅茨真空泵(beng)利用(yong)壹對(dui)相(xiang)互嚙合的8字形轉子(zi)同步反向旋轉來輸送氣(qi)體(ti)。轉子(zi)之間(jian)和(he)轉子(zi)與泵(beng)殼之間(jian)保持(chi)極小(xiao)的間隙，氣(qi)體(ti)被捕捉(zhuo)並(bing)搬運(yun)到(dao)排(pai)氣(qi)口(kou)。由(you)於沒有(you)內(nei)部壓縮(suo)過(guo)程(cheng)，羅(luo)茨真空泵(beng)通常作為(wei)前(qian)級泵(beng)使(shi)用(yong)，與(yu)其(qi)他(ta)類型(xing)的真空泵(beng)配(pei)合使(shi)用(yong)。

 

　　3.擴(kuo)散(san)泵(beng)：擴散泵利(li)用高速噴(pen)射的油(you)蒸氣(qi)流(liu)捕獲(huo)和攜(xie)帶(dai)氣(qi)體(ti)分子，將其推(tui)向泵的出口。油(you)蒸氣(qi)在泵(beng)內(nei)膨脹(zhang)形成高(gao)速(su)噴(pen)射流(liu)，當氣(qi)體(ti)分子與油(you)蒸氣(qi)流(liu)相(xiang)遇時，被引導(dao)向下(xia)運動(dong)並(bing)最終(zhong)排(pai)出泵外。

 

　　4.渦(wo)輪分子泵：渦輪分子泵通過(guo)壹系列高(gao)速旋轉的葉片(pian)產生(sheng)的動(dong)量(liang)傳(chuan)遞來捕獲(huo)和加(jia)速(su)氣(qi)體(ti)分子。氣(qi)體(ti)分子通過(guo)與(yu)葉(ye)片(pian)碰(peng)撞(zhuang)被加(jia)速(su)，沿泵(beng)軸方(fang)向移動(dong)，從而(er)達到抽氣(qi)效果。渦輪(lun)分子泵適(shi)用(yong)於超高(gao)真空環(huan)境。

 

　　主(zhu)要部件

 

　　愛發科真空泵(beng)的高效運(yun)行(xing)依(yi)賴於各個(ge)關鍵(jian)部件的協(xie)調工作。以(yi)下(xia)是壹些主要部件及其功能(neng)：

 

　　1.泵體(ti)：泵(beng)體(ti)是泵(beng)的主要結構部分，包含(han)了所(suo)有(you)機(ji)械(xie)部件和密封系統。它需(xu)要具備高強度和(he)耐腐蝕性(xing)，以承受(shou)工作環(huan)境中(zhong)的各種壓力(li)和(he)化(hua)學(xue)侵(qin)蝕。

 

　　2.轉子(zi)和定子(zi)：在旋片(pian)式(shi)和(he)羅茨真空泵(beng)中，轉子(zi)和定子(zi)是核(he)心(xin)部件。轉子(zi)的旋轉運(yun)動(dong)帶動(dong)氣(qi)體(ti)流(liu)動(dong)，而定子(zi)則(ze)提(ti)供(gong)固(gu)定的腔(qiang)體(ti)以(yi)限制氣(qi)體(ti)路(lu)徑。

 

　　3.旋片(pian)：在旋片(pian)式(shi)真空泵(beng)中，旋片(pian)是實(shi)現(xian)氣(qi)體(ti)捕捉(zhuo)和(he)壓縮(suo)的關鍵(jian)部件。旋片(pian)由(you)高(gao)耐磨(mo)材(cai)料制(zhi)成，能(neng)夠在轉子(zi)旋轉時(shi)保持(chi)與泵腔(qiang)的緊密接(jie)觸(chu)。

 

　　4.密封系統：包括(kuo)機(ji)械(xie)密封和(he)油(you)封，密(mi)封系統保證(zheng)了真空泵(beng)的氣(qi)密(mi)性(xing)，防止(zhi)外界(jie)空氣(qi)進(jin)入泵(beng)腔(qiang)並(bing)避免(mian)泵(beng)內(nei)氣(qi)體(ti)泄漏(lou)。

 

　　5.軸承和(he)潤滑系統：軸承支(zhi)持(chi)轉子(zi)的旋轉，潤滑系統確(que)保軸承和(he)其(qi)他(ta)運動(dong)部件的潤滑，減少摩擦和(he)磨(mo)損(sun)，延長(chang)泵的使(shi)用(yong)壽(shou)命。

 

　　6.冷卻(que)系統：在擴(kuo)散(san)泵和渦輪(lun)分子泵中，冷卻(que)系統用(yong)於控制(zhi)泵內(nei)部溫度，防(fang)止(zhi)過(guo)熱(re)。冷卻(que)方(fang)式(shi)可(ke)以是水冷或風冷。

 

　　7.排(pai)氣(qi)閥和入口(kou)閥：這些閥門控制(zhi)氣(qi)體(ti)的進出，確保氣(qi)體(ti)按(an)照(zhao)設(she)定路(lu)徑(jing)流(liu)動(dong)，並(bing)防止(zhi)逆流(liu)。

 

　　8.控制(zhi)系統：現(xian)代(dai)真空泵(beng)通常配(pei)備電子控制(zhi)系統，用(yong)於監控泵(beng)的運行狀態、調(tiao)節工作參(can)數和進(jin)行(xing)故(gu)障(zhang)診(zhen)斷，提(ti)高操(cao)作的自動(dong)化水平。

 

　　應用與優勢(shi)

 

　　真空泵(beng)廣泛(fan)應用(yong)於各個(ge)領域(yu)，尤其在半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造中扮(ban)演重要角(jiao)色(se)。其(qi)主(zhu)要優勢(shi)包括(kuo)：

 

　　-高(gao)效能(neng)：能(neng)夠在短時(shi)間內(nei)達到所(suo)需(xu)真空度，提(ti)高生(sheng)產效率(lv)。

 

　　-穩(wen)定性(xing)：設計精(jing)密，運(yun)行(xing)穩(wen)定，適(shi)應(ying)長(chang)時間連(lian)續(xu)工作。

 

　　-多(duo)樣性(xing)：涵蓋多(duo)種類(lei)型的真空泵(beng)，滿(man)足(zu)不同應(ying)用(yong)需求。

 

　　-創(chuang)新性(xing)：不斷研發新技術和(he)改(gai)進(jin)現(xian)有(you)產品，保持(chi)行業地(di)位(wei)。