通(tong)過(guo)科學(xue)的(de)愛發(fa)科低溫真空泵(beng)維修(xiu)策(ce)略(lve)和(he)規範的(de)維護(hu)操(cao)作(zuo),它(ta)可以保(bao)持(chi)長(chang)期(qi)穩(wen)定(ding)的(de)性(xing)能(neng),顯(xian)著(zhu)延(yan)長使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming),為用戶(hu)創造(zao)更大(da)價值。低溫真空泵(beng)通(tong)過(guo)低(di)溫冷(leng)凝(ning)和吸附原理實(shi)現高(gao)真空環(huan)境(jing),是許(xu)多(duo)精(jing)密制(zhi)造(zao)過(guo)程中(zhong)的(de)關(guan)鍵設備。
壹、常見(jian)損(sun)耗(hao)分(fen)析(xi)
1.制(zhi)冷(leng)系統損(sun)耗(hao)
制(zhi)冷(leng)機(ji)是低(di)溫真空泵(beng)的(de)核心部件,常見(jian)問(wen)題(ti)包括:
-壓(ya)縮機(ji)密封(feng)件(jian)老(lao)化導(dao)致冷(leng)媒(mei)泄(xie)漏(lou)
-膨(peng)脹(zhang)機(ji)活(huo)塞環磨(mo)損(sun)造成制(zhi)冷(leng)效(xiao)率下降(jiang)
-冷(leng)頭溫度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)漂(piao)移(yi)或失(shi)效
-冷(leng)媒(mei)汙染導(dao)致系統性(xing)能(neng)降(jiang)低(di)
2.吸附劑(ji)性(xing)能(neng)衰(shuai)減
-活(huo)性(xing)炭(tan)或(huo)分(fen)子篩吸附劑(ji)飽(bao)和(he)
-高溫再生(sheng)不(bu)好導(dao)致的(de)吸附容(rong)量(liang)下降(jiang)
-機(ji)械振(zhen)動(dong)造(zao)成的(de)吸附劑(ji)粉(fen)化
-油(you)蒸(zheng)氣(qi)汙染導(dao)致的(de)吸附劑(ji)中(zhong)毒
3.真空密(mi)封(feng)系統問(wen)題(ti)
-金(jin)屬(shu)密(mi)封(feng)圈(如銅墊圈)變形(xing)或老(lao)化
-法蘭連接(jie)處泄(xie)漏
-波(bo)紋管(guan)疲勞裂(lie)紋
-閥(fa)門(men)密(mi)封(feng)失(shi)效
4.電氣(qi)控(kong)制(zhi)系統故障
-溫度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)漂(piao)移(yi)或失(shi)效
-加(jia)熱(re)元(yuan)件(jian)老化
-傳(chuan)感(gan)器(qi)信(xin)號(hao)異常
-電路(lu)板腐(fu)蝕(shi)或(huo)元(yuan)件(jian)老(lao)化
5.其他機(ji)械損(sun)耗(hao)
-輻(fu)射屏(ping)變形(xing)或汙染
-冷(leng)屏結(jie)霜過(guo)厚(hou)
-軸(zhou)承磨損(sun)導(dao)致的(de)機(ji)械振(zhen)動(dong)增大(da)
-冷卻水(shui)系統結(jie)垢(gou)或腐(fu)蝕(shi)
二(er)、維修(xiu)策(ce)略(lve)
1.預防(fang)性(xing)維護(hu)計劃
-定(ding)期(qi)檢(jian)查:建議(yi)每6個(ge)月進行(xing)壹次(ci)全(quan)面(mian)檢(jian)查,包(bao)括(kuo)冷媒(mei)壓(ya)力測試、泄(xie)漏(lou)檢(jian)測和電氣(qi)系統診(zhen)斷(duan)
-性(xing)能(neng)監(jian)測:建立泵抽(chou)速(su)、極限(xian)真空等關(guan)鍵參數(shu)的(de)長期(qi)監測記(ji)錄(lu),及時(shi)發(fa)現性(xing)能(neng)衰(shuai)減趨勢
-清(qing)潔(jie)保養:定(ding)期(qi)清潔(jie)輻(fu)射屏(ping)和冷(leng)屏,避(bi)免汙染積(ji)累(lei)
2.針(zhen)對(dui)性(xing)維修(xiu)措(cuo)施(shi)
-制(zhi)冷(leng)系統維修(xiu):
-冷(leng)媒(mei)補(bu)充(chong)或(huo)更換(需(xu)使(shi)用(yong)ULVAC指(zhi)定(ding)型號(hao))
-壓(ya)縮機(ji)密封(feng)件(jian)更換
-膨(peng)脹(zhang)機(ji)活(huo)塞環更換
-冷(leng)頭溫度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)校準或(huo)更換
-吸附劑(ji)處(chu)理(li):
-按(an)照廠(chang)家(jia)規定(ding)的(de)周(zhou)期(qi)進行(xing)再生(sheng)(通常150-200小時(shi))
-吸附劑(ji)更換(壹(yi)般使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)3-5年)
-采(cai)用(yong)分段(duan)升溫再生(sheng)法提(ti)高(gao)再生(sheng)效率
-密(mi)封(feng)系統維護(hu):
-金(jin)屬(shu)密(mi)封(feng)圈定(ding)期(qi)更換(建議(yi)每次(ci)大(da)修時(shi)更換)
-采(cai)用氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏儀檢(jian)測微漏(lou)
-閥(fa)門(men)密(mi)封(feng)面(mian)研(yan)磨或(huo)更換
3.維修(xiu)後驗證
-真空性(xing)能(neng)測試(抽(chou)速(su)、極限(xian)真空)
-制(zhi)冷(leng)溫度(du)曲(qu)線驗(yan)證
-72小(xiao)時(shi)連續運(yun)行(xing)穩(wen)定(ding)性(xing)測試
-振(zhen)動(dong)和噪(zao)音檢(jian)測
三(san)、維修(xiu)註(zhu)意事(shi)項
1.專(zhuan)業培訓:維修(xiu)人(ren)員需接(jie)受(shou)培訓,熟(shu)悉(xi)專(zhuan)用工(gong)具(ju)和(he)維修(xiu)流(liu)程
2.原廠(chang)配(pei)件:關(guan)鍵部件(jian)應(ying)使(shi)用(yong)原廠(chang)配(pei)件,確(que)保兼(jian)容(rong)性(xing)和(he)可(ke)靠(kao)性(xing)
3.冷(leng)媒(mei)處(chu)理(li):冷(leng)媒(mei)回(hui)收(shou)和(he)充(chong)註(zhu)需專(zhuan)業設(she)備,避(bi)免環(huan)境(jing)汙染
4.清(qing)潔環(huan)境(jing):內部(bu)維修(xiu)需(xu)在(zai)潔(jie)凈室(shi)環(huan)境(jing)下進行(xing),防(fang)止汙染
5.數(shu)據(ju)記(ji)錄(lu):詳細記(ji)錄(lu)每次(ci)維修(xiu)內容(rong)和更換部(bu)件,建立設備健康檔案(an)
四、延長(chang)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)的(de)建議(yi)
1.優化再生(sheng)周(zhou)期(qi),避(bi)免過(guo)度(du)再生(sheng)或再生(sheng)不(bu)足
2.安(an)裝前級過(guo)濾(lv)裝置,防(fang)止油蒸(zheng)氣(qi)汙染
3.保(bao)持(chi)冷(leng)卻水水(shui)質(zhi),防(fang)止結(jie)垢(gou)和腐(fu)蝕(shi)
4.避(bi)免頻繁啟停(ting),減(jian)少熱(re)循(xun)環應(ying)力
5.定(ding)期(qi)進行(xing)專(zhuan)業(ye)保養,而(er)非等到(dao)故障發生(sheng)