大氣(qi)壓(ya)近旁(pang)（離子規壓(ya)力：-100kPa～10kPa）可(ke)以(yi)進行(xing)高(gao)精(jing)度測(ce)量(liang)的采用(yong)半導(dao)體型(xing)薄(bo)膜(mo)素子的壓力傳(chuan)感器(qi)單(dan)元。為(wei)了(le)可(ke)以(yi)對(dui)應(ying)高(gao)真(zhen)空條件(jian)下的連續(xu)運(yun)轉(zhuan)的材質(zhi)，采(cai)用(yong)了(le)SUS316L。愛(ai)發(fa)科真(zhen)空計G-TRAN系列(lie)SAU 壓力傳(chuan)感器(qi)單(dan)元

復合(he)真(zhen)空計G-TRAN系列(lie)高(gao)真(zhen)空環(huan)境下測(ce)定，對(dui)真(zhen)空計的精(jing)度（感度(du)平(ping)衡(heng)，誤差(cha)等(deng)）和(he)較(jiao)短的壽(shou)命（測定(ding)子汙垢，放電難(nan)等(deng)）有(you)困惑嗎(ma)？ULVAC針對(dui)該願望，開發了在嚴酷環(huan)境下長(chang)久，高(gao)精(jing)度測(ce)定(ding)的電離真(zhen)空計。

AxTRAN是(shi)離子源和(he)離子集電極之間，搭(da)載貝(bei)賽爾型(xing)能(neng)量(liang)過濾(lv)器(qi)的熱陰極型(xing)電離真(zhen)空計。日(ri)本(ben)愛(ai)發(fa)科*真(zhen)空計 AxTRAN維(wei)修

可(ke)以(yi)測量(liang)中真(zhen)空～超(chao)高(gao)真(zhen)空領域(yu)的熱陰極電離真(zhen)空計。10+1〜10-8Pa（金(jin)屬管類(lei)型(xing)、GI-M2）、10-1〜10-6Pa（玻(bo)璃管(guan)類(lei)型(xing)、GI-D7）日(ri)本(ben)愛(ai)發(fa)科電離真(zhen)空計GI-M2/GI-D7維(wei)修保養

真(zhen)空環(huan)境下測(ce)定，對(dui)真(zhen)空計的精(jing)度（感度(du)平(ping)衡(heng)，誤差(cha)等(deng)）和(he)較(jiao)短的壽(shou)命（測定(ding)子汙垢，放電難(nan)等(deng)）有(you)困惑嗎(ma)？ULVAC針對(dui)該願望，開發了在嚴酷環(huan)境下長(chang)久，高(gao)精(jing)度測(ce)定(ding)的電離真(zhen)空計。愛(ai)發(fa)科真(zhen)空計G-TRAN多(duo)離子規ST2-1/ST2-2