DRYVAC是(shi)采用(yong)了新(xin)技術(shu)的(de)幹式(shi)螺(luo)桿真空泵(beng)，它根(gen)據具(ju)體(ti)應(ying)用可提(ti)供各種(zhong)功能(neng)。DRYVAC系列(lie)在開(kai)發(fa)時(shi)考慮(lv)了光(guang)電行(xing)業、平板顯(xian)示和(he)加(jia)工(gong)工業市場(chang)的(de)特(te)殊要(yao)求(qiu)。泵(beng)為水(shui)冷，結構緊(jin)湊並(bing)且(qie)易(yi)於(yu)與(yu)系統組(zu)合，特(te)別是(shi)與(yu)業經(jing)考驗(yan)的RUVAC WH(U)、WS(U)和(he)WA(U)系列(lie)羅(luo)茨(ci)泵(beng)實現組(zu)合。

DRYVAC是(shi)萊(lai)寶(bao)公司(si)幹式(shi)壓縮螺(luo)桿真空泵(beng)品種(zhong)中(zhong)的壹個(ge)新(xin)的系列(lie)，它根(gen)據具(ju)體(ti)應(ying)用可提(ti)供各種(zhong)功能(neng)。萊(lai)寶(bao)DRYVAC系列(lie)在開(kai)發(fa)時(shi)考慮(lv)了光(guang)電行(xing)業、平板顯(xian)示和(he)加(jia)工(gong)工業市場(chang)的(de)特(te)殊要(yao)求(qiu)。所有(you)DRYVAC泵(beng)型(xing)都(dou)采用(yong)水(shui)冷，非常(chang)緊(jin)湊(cou)的(de)外(wai)形並(bing)且(qie)易(yi)於(yu)與(yu)系統組(zu)合，尤(you)其是(shi)與(yu)業經(jing)考驗(yan)的萊(lai)寶(bao)RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列(lie)羅(luo)茨(ci)泵(beng)實現組(zu)合。

萊(lai)寶(bao)DRYVAC螺(luo)桿原理(li)的優點(dian)

由(you)於(yu)氣體(ti)在螺(luo)桿泵(beng)內(nei)的氣路短(duan)而(er)簡(jian)單，因此(ci)螺(luo)桿真空泵(beng)對所(suo)抽(chou)異(yi)物相當不(bu)敏(min)感。這(zhe)確(que)保了在工業應用(yong)條(tiao)件(jian)下更(geng)長的系統正(zheng)常(chang)運(yun)行(xing)時(shi)間。

從(cong)泵(beng)入口(kou)到(dao)其排氣口(kou)之(zhi)間直(zhi)而短(duan)的(de)氣路縮短了氣體(ti)停(ting)留(liu)時(shi)間，因此(ci)減(jian)少了泵(beng)內(nei)潛在沈(chen)積(ji)物。通過采用(yong)吹(chui)掃(sao)氣（例如(ru)氣鎮(zhen)），可有(you)效除(chu)去(qu)沈(chen)積(ji)物、顆粒和(he)冷凝液。

與(yu)萊(lai)寶(bao)螺(luo)桿真空泵(beng)SP系列(lie)壹樣(yang)，DRYVAC的開(kai)發(fa)也(ye)是(shi)用於(yu)高(gao)要(yao)求的應用。此外(wai)DRYVAC的應(ying)用(yong)範(fan)圍更是(shi)擴展到(dao)光(guang)電和(he)平板顯(xian)示的(de)生(sheng)產(chan)工藝(yi)。

適(shi)合應(ying)用(yong)特(te)點(dian)的DRYVAC版(ban)本(ben)說(shuo)明(ming)

萊(lai)寶(bao)DRYVAC DV和DV S對(dui)100mbar至(zhi)大氣壓(ya)段的(de)抽(chou)速進行(xing)了優化。因(yin)此(ci)DV和DVS型(xing)適合快(kuai)速抽(chou)空應用(yong)（如(ru)進樣(yang)室），或大腔(qiang)室(shi)抽(chou)空。

萊(lai)寶(bao)DRYVAC DV C型(xing)在惡劣(lie)用(yong)途可以(yi)提供更(geng)高(gao)可(ke)靠性(xing)，其優化的(de)性(xing)能適(shi)合光(guang)電和(he)平板顯(xian)示生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)常(chang)用(yong)的(de)工(gong)藝(yi)氣體(ti)。萊(lai)寶(bao)DRYVAC DV C型(xing)對氫氣具(ju)有(you)高(gao)抽(chou)速，並(bing)且(qie)由(you)於(yu)集成了吹掃(sao)氣系統，對(dui)於(yu)粉塵不(bu)敏感。

萊(lai)寶(bao)DRYVAC的主(zhu)要特(te)點(dian)：設計緊(jin)湊(cou)、易於(yu)布(bu)置成(cheng)水(shui)平流(liu)的(de)泵(beng)組。萊(lai)寶(bao)DV650比市場(chang)上同(tong)級別產(chan)品(pin)的功(gong)耗(hao)低30%。

萊(lai)寶(bao)DRYVAC平臺的(de)所(suo)有(you)版(ban)本(ben)可(ke)提(ti)供(gong)不(bu)同類型(xing)的配(pei)置：對(dui)於(yu)DRYVAC -r，泵(beng)的變頻(pin)器(qi)外置，可(ke)集成於(yu)外部電氣櫃(gui)內(nei)；對於其他泵(beng)型(xing)，變頻(pin)器(qi)集成在泵(beng)上。DRYVAC-i型(xing)配(pei)置了帶有(you)觸屏(ping)顯(xian)示器(qi)和軟件(jian)用(yong)戶界面(mian)的PLC，使得(de)操作(zuo)和(he)配(pei)置更(geng)加(jia)簡(jian)單。S-i型(xing)標配(pei)Profibus或24V I/O接口(kou)（可根(gen)據要(yao)求(qiu)提供(gong)其他接口(kou)）與(yu)系統對(dui)接。另外(wai)，S-i型(xing)安置在有(you)腳(jiao)輪(lun)、高(gao)度可(ke)調(tiao)地腳(jiao)和(he)Harting插座(zuo)/插頭(tou)的完整(zheng)外殼內(nei)。

DRYVAC DV450和(he)DV650是(shi)單臺螺(luo)桿泵(beng)，DV1200則配(pei)備了兩(liang)個(ge)並(bing)聯(lian)運(yun)行(xing)的螺(luo)桿泵(beng)。

DRYVAC DVR5000 C-i是(shi)DRYVAC -i的特(te)殊版(ban)本(ben)。該工藝(yi)泵(beng)由(you)DRYVAC DV650 C螺(luo)桿泵(beng)和RUVAC WH 2500羅(luo)茨(ci)泵(beng)組成(cheng)，整(zheng)體(ti)進行(xing)了集成控制(zhi)。與(yu)螺(luo)桿泵(beng)壹樣(yang)，WH 2500也(ye)是(shi)由(you)變頻(pin)器(qi)操縱(zong)和(he)控制(zhi)（Max. 100Hz）。泵(beng)組對(dui)氮(dan)氣的(de)有(you)效抽(chou)速約(yue)為3800立(li)方米/小(xiao)時(shi)。

萊(lai)寶(bao)DRYVAC系列(lie)幹式(shi)螺(luo)桿泵(beng)設計特(te)點(dian)

- 創(chuang)新(xin)式(shi)水(shui)冷（萊(lai)寶(bao)獨有(you)），泵(beng)溫低(di)

- *密(mi)封的(de)螺(luo)桿和羅(luo)茨泵(beng)，只(zhi)與(yu)外(wai)部形成(cheng)靜(jing)密(mi)封

- 機械和(he)電氣集成簡(jian)單

- 通(tong)過監(jian)視(shi)運(yun)行(xing)溫度、排氣壓(ya)力和(he)電流(liu)消耗(hao)提供(gong)集成保護功(gong)能(neng)

- 占地面(mian)積小(xiao)

- 能(neng)耗(hao)低，歸(gui)功於優化的(de)轉(zhuan)子線形以(yi)及(ji)符合IE2 效(xiao)率(lv)等(deng)級要求(qiu)的(de)創(chuang)新(xin)電機設計

- 適(shi)用電壓(ya)和頻(pin)率(lv)範(fan)圍大：380 -480V，50/ 60Hz

- NRTL認證(zheng)

- 符合RoHS德(de)國(guo)萊(lai)寶(bao)幹式(shi)螺(luo)桿真空泵(beng)DV1200維(wei)修(xiu)

萊(lai)寶(bao)DRYVAC DV系列(lie)幹式(shi)螺(luo)桿泵(beng)與(yu)萊(lai)寶(bao)SCREWLINE SP系列(lie)設計主(zhu)要設計不(bu)同(tong)點(dian)在於萊(lai)寶(bao)DRYVAC為螺(luo)桿兩(liang)端(duan)軸(zhou)承支(zhi)撐，SCREWLINE為單側軸(zhou)承支(zhi)撐(懸(xuan)臂(bi)支(zhi)撐）設計

客(ke)戶得益(yi)

- 緊(jin)湊的螺(luo)桿幹泵(beng)，占用空(kong)間小(xiao)

- 系統集成靈(ling)活性(xing)非常(chang)高(gao)

- 噪(zao)音低

- 可(ke)靠性(xing)高(gao)

- 集成的(de)自我監(jian)控功能(neng)

- 無(wu)意外停(ting)機，維(wei)護要(yao)求(qiu)低

萊(lai)寶(bao)DRYVAC DV系列(lie)幹式(shi)螺(luo)桿泵(beng)典型(xing)應用(yong)德(de)國(guo)萊(lai)寶(bao)幹式(shi)螺(luo)桿真空泵(beng)DV1200維(wei)修(xiu)​

- 太(tai)陽能鍍(du)膜(mo)（SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等(deng)）

- 進樣(yang)室

- 拉單晶/多(duo)晶(jing)矽(gui)鑄錠

- 顯(xian)示器(qi)和玻璃鍍(du)膜(mo)

- 耐磨塗層(ceng)鍍(du)膜(mo)

- 帶(dai)鋼鍍膜(mo)

- 工(gong)業爐(lu)

- 冶(ye)金

- 真空幹燥(zao)

- 電(dian)子束(shu)焊接