德(de)國萊寶(bao)低(di)溫真(zhen)空(kong)泵(beng)COOLVAC 5000 iCL 維(wei)修​

COOLVAC / COOLPOWER / COOLPAK系列低(di)溫產(chan)品

萊寶(bao)COOLVAC系列低(di)溫泵(beng)，*，可(ke)靠(kao)耐(nai)用(yong)，維(wei)護簡(jian)單(dan)，適應科研和(he)工業的(de)應用要(yao)求(qiu)。

COOLVAC 低溫(wen)泵(beng)系列德(de)國萊寶(bao)低(di)溫真(zhen)空(kong)泵(beng)COOLVAC 5000 iCL 維(wei)修​

COOLVAC真(zhen)空(kong)泵(beng)是制(zhi)冷(leng)型(xing)低(di)溫(wen)泵，通過(guo)低溫(wen)冷凝的(de)方法(fa)借(jie)由(you)泵(beng)內(nei)的(de)冷壁(bi)將(jiang)氣態(tai)物(wu)質捕(bu)集從而產(chan)生真空(kong)。正(zheng)是因(yin)為(wei)這個原(yuan)理(li)，COOLVAC低(di)溫(wen)泵(beng)具(ju)有高有(you)效抽速(su)

5000/10000iCL COOLVAC iCL系列全(quan)自動(dong)再(zai)生(sheng)低(di)溫(wen)泵(beng)

萊(lai)寶(bao)COOLVAC低(di)溫泵(beng)的(de)工作(zuo)範圍10-3到(dao)≤10-11mbar（0.75 x 10-3到(dao)≤0.75 x 10-11托(tuo)）屬(shu)於氣體捕(bu)集泵。工作(zuo)原(yuan)理(li)是將(jiang)氣態(tai)物(wu)質通過(guo)低溫(wen)冷凝和低溫捕(bu)集到泵內冷(leng)表(biao)面(mian)。為了(le)能夠獲得高真(zhen)空(kong)或(huo)超(chao)高真(zhen)空(kong)，冷(leng)表面(mian)（低溫(wen)板）必須冷(leng)卻(que)到足(zu)夠低(di)的(de)溫度(du)。根據(ju)所(suo)用冷卻(que)系統(tong)的(de)類型(xing)可(ke)以分為制(zhi)冷(leng)機(ji)低(di)溫泵、 貯槽式(shi)低溫(wen)泵(beng)和蒸發(fa)器低(di)溫(wen)泵。

萊寶(bao)COOLVAC低(di)溫泵(beng)的(de)工作(zuo)範圍10-3到(dao)≤10-11mbar（0.75 x 10-3到(dao)≤0.75 x 10-11托(tuo)）屬(shu)於

氣體捕(bu)集泵。工作(zuo)原(yuan)理(li)是將(jiang)氣態(tai)物(wu)質通過(guo)低溫(wen)冷凝和低溫捕(bu)集到泵內冷(leng)表(biao)面(mian)。為了(le)能夠獲得高真(zhen)空(kong)或(huo)超(chao)高真(zhen)空(kong)，冷(leng)表面(mian)（低溫(wen)板）必須冷(leng)卻(que)到足(zu)夠低(di)的(de)溫度(du)。根據(ju)所(suo)用冷卻(que)系統(tong)的(de)類型(xing)可(ke)以分為制(zhi)冷(leng)機(ji)低(di)溫泵、 貯槽式(shi)低溫(wen)泵(beng)和蒸發(fa)器低(di)溫(wen)泵。

萊寶(bao)公司(si)生(sheng)產(chan)用制冷(leng)機(ji)冷(leng)卻低溫泵(beng)。

客戶得(de)益(yi)

低溫(wen)泵的(de)優勢(shi)：

- 所(suo)有氣體都(dou)有(you)高抽速(su)

- 對水(shui)汽有(you)*的(de)抽速(su)

對於相(xiang)同直(zhi)徑(jing)的(de)高真(zhen)空(kong)法(fa)蘭(lan)，低(di)溫泵(beng)可(ke)以達到所(suo)有高真(zhen)空(kong)泵(beng)MAX的(de)抽速(su)。

低溫(wen)泵的(de)優勢(shi)2：

與氣體傳輸(shu)泵（例(li)如(ru)渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)）相(xiang)比(bi)，低溫(wen)泵(beng)在真(zhen)空(kong)側(ce)沒(mei)有(you)任(ren)何(he)機(ji)械(xie)活動(dong)

部(bu)件(jian)、潤滑油或脂(zhi)潤滑部(bu)件(jian)。所(suo)以：- 10-3 至(zhi) ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至(zhi)

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiang)範圍(wei)的(de)無烴(ting)真空(kong)

- 對外(wai)部(bu)振(zhen)動(dong)不(bu)敏(min)感(gan)

其它(ta)優(you)點：

- 與其他高真(zhen)空(kong)泵(beng)相(xiang)比(bi)更加緊湊(cou)（抽速(su)大於1500 l x s-1）

- 僅啟動(dong)和(he)再(zai)生(sheng)期(qi)間(jian)需要(yao)前(qian)級(ji)泵

- 利(li)用(yong)計(ji)算機(ji)更(geng)容易對工藝和(he)泵進行(xing)控制(zhi)

- 性(xing)價(jia)比(bi)更高，使(shi)用成(cheng)本更低，尤其是需要(yao)大(da)抽速(su)的(de)應用

萊寶(bao)真(zhen)空(kong)生(sheng)產(chan)的(de)低溫(wen)泵采用本廠(chang)生(sheng)產(chan)的(de)COOLPOWER雙級(ji)冷頭冷(leng)卻(que)（Gifford/McMahon原(yuan)理(li)）。

有關(guan)COOLVAC系列低(di)溫泵(beng)的(de)設計(ji)，請見以(yi)下示意圖(tu)的(de)內容(rong)。

壹級(ji)冷頭（9）冷(leng)卻(que)熱(re)輻射防護屏(ping)和(he)低溫泵的(de)障板（6）。

根據(ju)泵(beng)的(de)型(xing)號(hao)和工作(zuo)條(tiao)件不(bu)同，達(da)到45到80K的(de)工作(zuo)溫度，水(shui)蒸汽在這裏(li)冷(leng)凝。

熱(re)輻射防護屏(ping)和(he)障板為(wei)銅(tong)質，它們(men)能(neng)很(hen)好地(di)傳遞熱(re)量(liang)，從而優化(hua)制(zhi)冷容量(liang)。

另(ling)外(wai)，熱(re)輻射防護屏(ping)經(jing)過(guo)拋光(guang)，將(jiang)反射損失(shi)降(jiang)到盡(jin)可(ke)能小。二(er)級(ji)冷(leng)頭（7）用(yong)於冷卻(que)冷(leng)傘（8）。

根據(ju)工作(zuo)條(tiao)件，達(da)到 10到(dao) 20 K的(de)工作(zuo)溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這裏(li)低(di)溫冷(leng)凝(ning)。冷(leng)傘采用高導(dao)熱(re)銅材(cai)與二(er)級(ji)冷頭緊密(mi)相(xiang)連。氫(qing)氣、氖氣和氦氣被(bei)吸(xi)附(fu)到(dao)冷傘上(shang)面(mian)部(bu)分(fen)覆蓋(gai)活性(xing)炭(tan)上(shang)。

COOLVAC制冷(leng)機(ji)低(di)溫泵

COOVAC系列的(de)所(suo)有低溫(wen)泵都(dou)配有(you)安全閥(fa)（UHV型(xing)帶(dai)有(you)爆破膜(mo)），安全閥(fa)由(you)工廠(chang)設置，過(guo)壓150mbar（113托(tuo)）時(shi)打(da)開(kai)。

為了(le)保證(zheng)在(zai)安全閥(fa)動(dong)作(zuo)時，安全地(di)排(pai)出(chu)可(ke)能影響健(jian)康(kang)的(de)氣體，安全閥(fa)另(ling)配有(you)壹個 DN 40 KF 法(fa)蘭(lan)，上(shang)面(mian)可(ke)以連接壹條(tiao)排氣管線(xian)。

低溫(wen)泵的(de)再(zai)生(sheng)

低溫(wen)泵工作(zuo)的(de)壹個重(zhong)要(yao)方面(mian)是再(zai)生(sheng)。由(you)於低溫(wen)泵(beng)屬(shu)於氣體捕(bu)集泵，所(suo)以被(bei)抽氣體都(dou)蓄(xu)積在(zai)泵(beng)內，飽和後必須泵(beng)排(pai)出。

具(ju)體操作(zuo)方法(fa)是關(guan)閉壓(ya)縮機(ji)並加熱(re)低溫(wen)區(qu)到室溫或(huo)略(lve)高的(de)溫度(du)，由前(qian)級真(zhen)空(kong)泵(beng)將(jiang)釋放(fang)的(de)氣體排出(chu)。

非(fei)電(dian)控再(zai)生(sheng)系統(tong)的(de)低溫(wen)泵這種(zhong)低(di)溫泵(beng)通過(guo)向(xiang)泵(beng)內(nei)吹(chui)掃(sao)幹燥(zao)、預熱(re)的(de)惰(duo)性(xing)氣體（例(li)如(ru)氮氣）加熱(re)低溫(wen)區(qu)到室溫。此(ci)情況(kuang)下，由於低溫(wen)泵(beng)內不可(ke)能有確定(ding)的(de)和受控制(zhi)的(de)溫度(du)，所(suo)以無法(fa)排(pai)除(chu)氫(qing)氣和氧(yang)氣同時(shi)存在(zai)的(de)情況(kuang)。只(zhi)有通過(guo)幹燥(zao)惰(duo)性(xing)氣體的(de)稀(xi)釋作(zuo)用來防止(zhi)可(ke)燃混(hun)合(he)氣的(de)形(xing)成(cheng)。

多臺(tai)低溫泵組(zu)合(he)操作(zuo)

由於萊寶(bao)真(zhen)空(kong)的(de)壓縮機(ji)COOLPAK 6000HD功能(neng)強(qiang)大，可(ke)以同時驅動(dong)兩(liang)個以上(shang)冷頭或(huo)低(di)溫泵。

客戶得(de)益(yi)

- 極大(da)的(de)降低(di)投資(zi)和操(cao)作(zuo)成(cheng)本

- 占(zhan)地面(mian)積小

萊寶(bao)真(zhen)空(kong)全(quan)自動(dong)加熱(re)再(zai)生(sheng)低(di)溫(wen)泵(beng)

低溫(wen)泵通過(guo)電(dian)加熱(re)器將(jiang)壹級(ji)和二級(ji)冷(leng)頭加溫(wen)到(dao)室溫。此(ci)類情(qing)況下，低溫泵內(nei)可(ke)以達到確定(ding)和受控制(zhi)的(de)溫度(du)分布(bu)。這個受控制(zhi)的(de)加溫(wen)過(guo)程保(bao)證(zheng)了(le)氣體被(bei)連續(xu)排出(chu)，也(ye)就是按以下順(shun)序(xu)氣體壹個接壹個

被(bei)釋放(fang)：

-　吸(xi)附(fu)在(zai)冷傘上(shang)的(de)氣體（例(li)如(ru)氫(qing)氣、　 氦氣、氖氣）

-　冷凝(ning)在冷(leng)傘上(shang)的(de)氣體（例(li)如(ru)氮氣、　 氧氣、氬氣）

-　冷凝(ning)在障板和(he)熱(re)輻射防護屏(ping)上(shang)的(de)氣　 體和蒸汽（例(li)如(ru)水(shui)蒸汽）

萊寶(bao)真(zhen)空(kong)采用的(de)這種(zhong)電(dian)加熱(re)再(zai)生(sheng)方法(fa)能(neng)夠防止(zhi)氫氣和氧(yang)氣之(zhi)類(lei)的(de)氣體在泵(beng)內同(tong)時(shi)存(cun)在(zai)，從根(gen)本上(shang)排除(chu)了(le)可(ke)燃混(hun)合(he)氣形(xing)成(cheng)的(de)可(ke)能。

加溫(wen)過(guo)程為(wei)全自動(dong)，泵(beng)內的(de)壓強(qiang)和溫(wen)度分(fen)布(bu)，始(shi)終由(you)控(kong)制(zhi)系統(tong)確定(ding)和控(kong)制，從而保證(zheng)萊(lai)寶(bao)真(zhen)空(kong)低(di)溫泵再(zai)生(sheng)期(qi)間(jian)較大限(xian)度的(de)安全。

萊寶(bao)真(zhen)空(kong)的(de)低溫(wen)泵分(fen)自然再(zai)生(sheng)（BL）和(he)全(quan)自動(dong)加熱(re)再(zai)生(sheng)（iCL）兩(liang)個系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單(dan)品以對(dui)氮氣抽速(su)命名（單(dan)位(wei)l/s），如(ru)COOLVAC 1500 iCL對(dui)氮氣的(de)抽速(su)為1500l/s。可(ke)提(ti)供(gong)從1500到60000l/s的(de)全系列產(chan)

品。

在報(bao)價清單(dan)上(shang)，泵名(ming)稱(cheng)帶(dai)有(you)符(fu)號(hao)“V”的(de)：“V”表示(shi)高真(zhen)空(kong)接(jie)口位(wei)於上(shang)端，冷頭在(zai)下面(mian)，例(li)如(ru)COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的(de)命名規則(ze)相(xiang)同，可(ke)提(ti)供(gong)從1500到60000l/s的(de)全系列產(chan)品。

3.　特殊低(di)溫(wen)泵

低溫(wen)泵的(de)優勢(shi)：

- 所(suo)有氣體都(dou)有(you)高抽速(su)

- 對水(shui)汽有(you)*的(de)抽速(su)

對於相(xiang)同直(zhi)徑(jing)的(de)高真(zhen)空(kong)法(fa)蘭(lan)，低(di)溫泵(beng)可(ke)以達到所(suo)有高真(zhen)空(kong)泵(beng)MAX的(de)抽速(su)。

低溫(wen)泵的(de)優勢(shi)2：

與氣體傳輸(shu)泵（例(li)如(ru)渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)）相(xiang)比(bi)，低溫(wen)泵(beng)在真(zhen)空(kong)側(ce)沒(mei)有(you)任(ren)何(he)機(ji)械(xie)活動(dong)

部(bu)件(jian)、潤滑油或脂(zhi)潤滑部(bu)件(jian)。所(suo)以：- 10-3 至(zhi) ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至(zhi)

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiang)範圍(wei)的(de)無烴(ting)真空(kong)

- 對外(wai)部(bu)振(zhen)動(dong)不(bu)敏(min)感(gan)

其它(ta)優(you)點：

- 與其他高真(zhen)空(kong)泵(beng)相(xiang)比(bi)更加緊湊(cou)（抽速(su)大於1500 l x s-1）

- 僅啟動(dong)和(he)再(zai)生(sheng)期(qi)間(jian)需要(yao)前(qian)級(ji)泵

- 利(li)用(yong)計(ji)算機(ji)更(geng)容易對工藝和(he)泵進行(xing)控制(zhi)

- 性(xing)價(jia)比(bi)更高，使(shi)用成(cheng)本更低，尤其是需要(yao)大(da)抽速(su)的(de)應用

客戶得(de)益(yi)

- 無烴(ting)高真(zhen)空(kong)

- 抽氬氣和氮氣能力(li)強(qiang)

- 切入閾值高

- 操作(zuo)簡單(dan)

- 易於整合(he)到復(fu)雜(za)系統(tong)

- 全自動(dong)再(zai)生(sheng)

- 維(wei)修簡(jian)單(dan)

典型(xing)應用

- 蒸發(fa)器

- 濺射系統(tong)

- 離子(zi)註(zhu)入機(ji)

- 光學(xue)鍍(du)膜(mo)機(ji)