萊(lai)寶低溫真空泵(beng) COOLVAC 10000 iCL維修保(bao)養​

1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫泵

萊寶COOLVAC低溫泵的工(gong)作(zuo)範圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托(tuo)）屬於(yu)氣體捕集泵。工(gong)作(zuo)原理是將(jiang)氣態(tai)物質通過(guo)低溫冷(leng)凝(ning)和低溫捕集到泵內(nei)冷(leng)表(biao)面。為(wei)了(le)能夠(gou)獲(huo)得(de)高真空或超高真空，冷(leng)表(biao)面（低溫板(ban)）必須(xu)冷(leng)卻到足夠(gou)低的(de)溫度(du)。根(gen)據(ju)所(suo)用冷(leng)卻系(xi)統(tong)的(de)類(lei)型(xing)可以分為制(zhi)冷(leng)機低溫泵、 貯(zhu)槽(cao)式(shi)低溫泵和蒸(zheng)發(fa)器低溫泵。

萊寶COOLVAC低溫泵的工(gong)作(zuo)範圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托(tuo)）屬於(yu)

氣體捕集泵。工(gong)作(zuo)原理是將(jiang)氣態(tai)物質通過(guo)低溫冷(leng)凝(ning)和低溫捕集到泵內(nei)冷(leng)表(biao)面。為(wei)了(le)能夠(gou)獲(huo)得(de)高真空或超高真空，冷(leng)表(biao)面（低溫板(ban)）必須(xu)冷(leng)卻到足夠(gou)低的(de)溫度(du)。根(gen)據(ju)所(suo)用冷(leng)卻系(xi)統(tong)的(de)類(lei)型(xing)可以分為制(zhi)冷(leng)機低溫泵、 貯(zhu)槽(cao)式(shi)低溫泵和蒸(zheng)發(fa)器低溫泵。萊寶低溫真空泵(beng) COOLVAC 10000 iCL維修保(bao)養​

萊寶公司(si)生(sheng)產(chan)用制冷(leng)機冷(leng)卻低溫泵。

客戶(hu)得(de)益

低溫泵的優(you)勢：

- 所(suo)有(you)氣體都有(you)高抽速

- 對(dui)水(shui)汽有(you)*的(de)抽速

對(dui)於(yu)相(xiang)同(tong)直(zhi)徑(jing)的(de)高真空法(fa)蘭(lan)，低溫泵可以(yi)達(da)到所(suo)有(you)高真空泵(beng)MAX的抽速。

低溫泵的優(you)勢2：

與氣體傳輸泵(beng)（例(li)如渦輪(lun)分子泵）相(xiang)比，低溫泵在真(zhen)空(kong)側(ce)沒(mei)有(you)任何(he)機械活(huo)動

部件、潤滑(hua)油(you)或脂潤滑(hua)部(bu)件(jian)。所(suo)以(yi)：- 10-3 至(zhi) ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至(zhi)

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強範圍的無烴(ting)真(zhen)空

- 對(dui)外部振(zhen)動不敏(min)感

其它(ta)優(you)點(dian)：

- 與其他高真空泵(beng)相(xiang)比更(geng)加(jia)緊湊(cou)（抽速大(da)於(yu)1500 l x s-1）

- 僅啟動和再(zai)生(sheng)期間(jian)需(xu)要(yao)前級泵(beng)

- 利(li)用計(ji)算機更(geng)容(rong)易對(dui)工(gong)藝和(he)泵(beng)進行控制(zhi)

- 性(xing)價(jia)比更(geng)高，使用成本(ben)更低，尤(you)其(qi)是需(xu)要(yao)大(da)抽速的應用

萊寶真空(kong)生(sheng)產(chan)的(de)低溫泵采用本(ben)廠(chang)生(sheng)產(chan)的(de)COOLPOWER雙級冷(leng)頭冷(leng)卻（Gifford/McMahon原理）。

有(you)關COOLVAC系(xi)列低溫泵的設(she)計(ji)，請見(jian)以下示意(yi)圖的內(nei)容。

壹級(ji)冷(leng)頭（9）冷(leng)卻熱輻(fu)射(she)防護屏(ping)和低溫泵的障(zhang)板(ban)（6）。

根據(ju)泵(beng)的(de)型(xing)號(hao)和工(gong)作(zuo)條件(jian)不同(tong)，達(da)到45到80K的工(gong)作(zuo)溫度(du)，水(shui)蒸(zheng)汽在這(zhe)裏(li)冷(leng)凝(ning)。

熱輻射防(fang)護(hu)屏(ping)和障(zhang)板(ban)為(wei)銅(tong)質，它(ta)們(men)能很(hen)好(hao)地傳遞熱量(liang)，從而優(you)化(hua)制(zhi)冷(leng)容量(liang)。

另外，熱輻(fu)射防護(hu)屏經過(guo)拋光，將(jiang)反射(she)損(sun)失(shi)降(jiang)到盡(jin)可能小(xiao)。二級冷(leng)頭（7）用於冷(leng)卻冷(leng)傘（8）。

根據(ju)工(gong)作(zuo)條件(jian)，達到 10到 20 K的工(gong)作(zuo)溫度(du)。氮(dan)氣、氧氣和(he)氬(ya)氣在(zai)這(zhe)裏(li)低溫冷(leng)凝(ning)。冷(leng)傘采(cai)用高導熱銅(tong)材與二級冷(leng)頭緊密相(xiang)連(lian)。氫氣、氖氣和(he)氦(hai)氣被(bei)吸(xi)附(fu)到冷(leng)傘上(shang)面部分(fen)覆(fu)蓋活(huo)性(xing)炭(tan)上(shang)。

COOLVAC制冷(leng)機低溫泵

COOVAC系(xi)列的(de)所(suo)有(you)低溫泵都配有(you)安(an)全閥（UHV型(xing)帶有(you)爆破(po)膜），安(an)全閥由工廠(chang)設(she)置，過(guo)壓150mbar（113托(tuo)）時打(da)開。

為了(le)保(bao)證(zheng)在(zai)安(an)全閥動作(zuo)時，安(an)全地排出(chu)可能影響(xiang)健(jian)康的氣體，安(an)全閥另(ling)配有(you)壹個(ge) DN 40 KF 法(fa)蘭(lan)，上面(mian)可(ke)以連(lian)接壹條(tiao)排(pai)氣管線。

低溫泵的再(zai)生(sheng)

低溫泵工作(zuo)的壹個(ge)重(zhong)要方面(mian)是再(zai)生(sheng)。由於低溫泵屬於(yu)氣體捕集泵，所(suo)以(yi)被抽氣體都蓄積在泵(beng)內(nei)，飽(bao)和(he)後(hou)必須(xu)泵(beng)排(pai)出(chu)。

具(ju)體操(cao)作(zuo)方法(fa)是關閉壓縮機(ji)並(bing)加熱(re)低溫區到室溫或略(lve)高的溫度(du)，由前級真(zhen)空泵(beng)將(jiang)釋(shi)放的(de)氣體排出。

非電控再生(sheng)系(xi)統(tong)的(de)低溫泵這種(zhong)低溫泵通過(guo)向泵內(nei)吹(chui)掃幹(gan)燥、預(yu)熱(re)的(de)惰(duo)性(xing)氣體（例如氮(dan)氣）加(jia)熱(re)低溫區到室溫。此情況下，由於低溫泵內(nei)不可(ke)能有(you)確定(ding)的(de)和(he)受(shou)控(kong)制(zhi)的溫度(du)，所(suo)以(yi)無法排除氫(qing)氣和(he)氧氣同(tong)時存在的情況。只(zhi)有(you)通(tong)過(guo)幹(gan)燥惰(duo)性(xing)氣體的稀釋作(zuo)用來防(fang)止可燃(ran)混(hun)合(he)氣的(de)形成。

多臺低溫泵組(zu)合(he)操(cao)作(zuo)

由於萊(lai)寶真空(kong)的(de)壓縮機(ji)COOLPAK 6000HD功(gong)能強大(da)，可(ke)以同(tong)時驅動兩個(ge)以上(shang)冷(leng)頭或低溫泵。

客戶(hu)得(de)益

- 極(ji)大(da)的(de)降(jiang)低投(tou)資(zi)和操(cao)作(zuo)成本(ben)

- 占地面積小

萊寶真空(kong)全自(zi)動加熱(re)再(zai)生低溫泵

低溫泵通過(guo)電加熱器將(jiang)壹級(ji)和(he)二級冷(leng)頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nei)可以(yi)達到確定(ding)和(he)受(shou)控(kong)制(zhi)的(de)溫度(du)分(fen)布(bu)。這個受(shou)控制(zhi)的加(jia)溫過(guo)程(cheng)保證(zheng)了(le)氣體被連(lian)續排出，也就是按(an)以(yi)下順序(xu)氣體壹個(ge)接(jie)壹個(ge)

被釋放：

-　吸(xi)附(fu)在冷(leng)傘上(shang)的氣體（例如氫氣、　 氦(hai)氣、氖氣）

-　冷(leng)凝(ning)在冷(leng)傘上(shang)的氣體（例如氮(dan)氣、　 氧氣、氬(ya)氣）

-　冷(leng)凝(ning)在障(zhang)板(ban)和(he)熱輻射防(fang)護(hu)屏(ping)上的(de)氣　 體和蒸汽（例如(ru)水蒸(zheng)汽）

萊寶真空(kong)采(cai)用的這(zhe)種(zhong)電(dian)加熱(re)再(zai)生(sheng)方法(fa)能夠(gou)防(fang)止氫氣和(he)氧氣之(zhi)類(lei)的氣體在泵內(nei)同(tong)時存在，從根(gen)本(ben)上排(pai)除(chu)了(le)可(ke)燃(ran)混(hun)合(he)氣形成的可(ke)能。

加溫過(guo)程(cheng)為全自(zi)動，泵內(nei)的壓強和(he)溫度(du)分(fen)布(bu)，始終由控制(zhi)系(xi)統(tong)確定(ding)和(he)控(kong)制(zhi)，從(cong)而保證(zheng)萊(lai)寶真空(kong)低溫泵再生(sheng)期(qi)間(jian)較(jiao)大(da)限(xian)度(du)的(de)安(an)全。

萊寶真空(kong)的(de)低溫泵分自(zi)然(ran)再生（BL）和全自(zi)動加熱(re)再(zai)生（iCL）兩個(ge)系(xi)列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單(dan)品以(yi)對(dui)氮(dan)氣抽速命(ming)名（單(dan)位(wei)l/s），如(ru)COOLVAC 1500 iCL對(dui)氮(dan)氣的(de)抽速為1500l/s。可(ke)提(ti)供從1500到60000l/s的全系(xi)列產(chan)

品。

在報價(jia)清單(dan)上，泵(beng)名稱帶有(you)符(fu)號(hao)“V”的：“V”表(biao)示高真空接(jie)口位(wei)於(yu)上(shang)端(duan)，冷(leng)頭在下面，例(li)如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命(ming)名規(gui)則(ze)相(xiang)同(tong)，可(ke)提(ti)供從1500到60000l/s的全系(xi)列產(chan)品(pin)。

3.　特殊低溫泵

萊寶真空(kong)可(ke)以根據(ju)客戶(hu)要求(qiu)提(ti)供特制(zhi)低溫泵，如為(wei)航(hang)天(tian)環境(jing)模擬(ni)應用提(ti)供大(da)口(kou)徑(jing)液氮(dan)輔(fu)助(zhu)制冷(leng)低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳(xiang)細(xi)信息(xi)請和垂詢(xun)熙(xi)日機械。

低溫泵的優(you)勢：

- 所(suo)有(you)氣體都有(you)高抽速

- 對(dui)水(shui)汽有(you)*的(de)抽速

對(dui)於(yu)相(xiang)同(tong)直(zhi)徑(jing)的(de)高真空法(fa)蘭(lan)，低溫泵可以(yi)達(da)到所(suo)有(you)高真空泵(beng)MAX的抽速。

低溫泵的優(you)勢2：

與氣體傳輸泵(beng)（例(li)如渦輪(lun)分子泵）相(xiang)比，低溫泵在真(zhen)空(kong)側(ce)沒(mei)有(you)任何(he)機械活(huo)動

部件、潤滑(hua)油(you)或脂潤滑(hua)部(bu)件(jian)。所(suo)以(yi)：- 10-3 至(zhi) ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至(zhi)

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強範圍的無烴(ting)真(zhen)空

- 對(dui)外部振(zhen)動不敏(min)感

其它(ta)優(you)點(dian)：

- 與其他高真空泵(beng)相(xiang)比更(geng)加(jia)緊湊(cou)（抽速大(da)於(yu)1500 l x s-1）

- 僅啟動和再(zai)生(sheng)期間(jian)需(xu)要(yao)前級泵(beng)

- 利(li)用計(ji)算機更(geng)容(rong)易對(dui)工(gong)藝和(he)泵(beng)進行控制(zhi)

- 性(xing)價(jia)比更(geng)高，使用成本(ben)更低，尤(you)其(qi)是需(xu)要(yao)大(da)抽速的應用

客戶(hu)得(de)益

- 無烴(ting)高真空

- 抽氬(ya)氣和(he)氮(dan)氣能力(li)強

- 切入(ru)閾值高

- 操(cao)作(zuo)簡(jian)單(dan)

- 易於整合(he)到復雜(za)系(xi)統(tong)

- 全自(zi)動再生(sheng)

- 維修簡(jian)單(dan)

典型應用

- 蒸發(fa)器

- 濺射系(xi)統(tong)

- 離子註入(ru)機(ji)

- 光學(xue)鍍(du)膜(mo)機(ji)

蘇(su)州昆山太倉無錫(xi)上海張家(jia)港萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

吳(wu)江(jiang)常(chang)熟鎮江(jiang)常(chang)州揚(yang)州泰(tai)州南(nan)通(tong)萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

南(nan)京啟(qi)東(dong)海門如臯(gao)海門海安(an)如(ru)東(dong)萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

宿(xiu)遷徐(xu)州合(he)肥(fei)蕪(wu)湖杭(hang)州湖州溫州萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

臺州衢州紹(shao)興(xing)金華(hua)寧(ning)波余姚福州萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

廈(sha)門泉州深(shen)圳(zhen)廣(guang)州珠(zhu)海(hai)廣(guang)州惠州萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

通(tong)州桂林南(nan)寧南昌(chang)贛州武漢成都萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

重(zhong)慶荊(jing)州太原蘭(lan)州烏魯木(mu)齊(qi)石家(jia)莊萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

天(tian)津長(chang)春吉林濟(ji)南青(qing)島威海德(de)州萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)

連(lian)雲港昆明(ming)九江(jiang)安(an)慶萊(lai)寶1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系(xi)列全自(zi)動再生(sheng)低溫真空泵(beng)