萊(lai)寶(bao)氦(hai)質譜(pu)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)​

萊寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)​

氦(hai)檢質譜(pu)漏(lou)儀(yi)的(de)原理(li)

氦(hai)檢質譜(pu)漏(lou)儀(yi)可(ke)查(zha)找(zhao)漏(lou)點位置(zhi)並測(ce)定(ding)漏率(lv)（通(tong)過漏孔(kong)的(de)氣體流(liu)量）。因此(ci)，氦(hai)質譜(pu)檢漏儀(yi)是(shi)壹(yi)臺(tai)氦(hai)流(liu)量計(ji)。

檢漏儀(yi)在工(gong)作(zuo)過(guo)程(cheng)中(zhong)首(shou)先是(shi)對試驗對(dui)象(xiang)進(jin)行(xing)抽真(zhen)空，來(lai)形成壓差使(shi)外(wai)部(bu)氣體穿過漏(lou)孔(kong)進(jin)入(ru)檢漏儀(yi)。檢漏儀(yi)利(li)用內置氦(hai)質譜(pu)儀(yi)測(ce)量進(jin)入(ru)檢漏儀(yi)氣體氦(hai)分壓並將(jiang)測(ce)量結果轉換(huan)為(wei)漏(lou)率(lv)顯(xian)示(shi)。顯(xian)示(shi)值(zhi)單(dan)位壹(yi)般(ban)采用流(liu)量單(dan)位。

重(zhong)要(yao)技(ji)術(shu)規(gui)範(fan)

測(ce)量範(fan)圍(wei)和(he)響(xiang)應(ying)時間(jian)是(shi)檢漏儀(yi)的(de)兩個(ge)重(zhong)要(yao)的(de)參數(shu)。

測(ce)量範(fan)圍(wei)用(yong)小(xiao)和(he)可(ke)檢漏率(lv)限(xian)定(ding)。萊寶(bao)氦(hai)質譜(pu)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)​

小(xiao)可(ke)檢漏率(lv)用(yong)靈敏的(de)測(ce)量範(fan)圍(wei)系(xi)統(tong)的(de)漂移與噪(zao)聲之(zhi)和(he)定(ding)義(yi)。每分鐘(zhong)內系統(tong)噪(zao)聲幅(fu)度和(he)零點(dian)漂(piao)移相(xiang)加(jia)就(jiu)可(ke)以(yi)得(de)到(dao)低可(ke)檢漏率(lv)。檢漏儀(yi)的(de)零點(dian)漂(piao)移量非常(chang)小(xiao)，所(suo)以(yi)壹(yi)般(ban)僅(jin)采用噪(zao)聲幅(fu)度就(jiu)可(ke)以(yi)確定(ding)檢漏儀(yi)的(de)小(xiao)可(ke)檢漏率(lv)。可(ke)檢漏率(lv)依(yi)賴(lai)於(yu)所采用的(de)檢漏方(fang)法，利(li)用逆(ni)流(liu)法和(he)分(fen)流(liu)法（參見下(xia)面(mian)的(de)說(shuo)明）可(ke)以(yi)測(ce)量非常(chang)大(da)的(de)漏率。此(ci)外(wai)，檢漏儀(yi)內部(bu)的(de)多級(ji)高阻抗(kang)輸(shu)入(ru)開關放大器(qi)也(ye)能(neng)提(ti)高檢漏儀(yi)測(ce)量大漏(lou)的(de)能力。在實(shi)際(ji)的(de)檢漏操(cao)作(zuo)過(guo)程(cheng)中(zhong)特(te)別(bie)是(shi)查找(zhao)漏(lou)點的(de)時候，響應(ying)時間(jian)十(shi)分重(zhong)要(yao)。該時間(jian)指(zhi)從用(yong)氦(hai)氣噴吹(chui)試驗對(dui)象(xiang)直(zhi)到(dao)檢漏儀(yi)顯(xian)示(shi)測(ce)量值所(suo)用(yong)的(de)時間(jian)。電(dian)子信(xin)號(hao)調(tiao)節電(dian)路(lu)系統(tong)的(de)響應時間(jian)是(shi)總響(xiang)應(ying)時間(jian)的(de)重要(yao)組(zu)成部(bu)分(fen)。對(dui)於檢漏儀(yi)來(lai)說(shuo)，電氣系(xi)統(tong)的(de)響應時間(jian)遠(yuan)小(xiao)於(yu)1秒(miao)。

蘇州(zhou)昆山(shan)太倉(cang)無(wu)錫上(shang)海(hai)張家港吳江萊(lai)寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏

常(chang)熟鎮江常(chang)州(zhou)揚州(zhou)泰州(zhou)南(nan)通(tong)南(nan)京(jing)啟東(dong)萊(lai)寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

海(hai)門(men)如(ru)臯海門(men)海安如(ru)東宿(xiu)遷(qian)徐(xu)州(zhou)合肥(fei)萊(lai)寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

蕪(wu)湖(hu)杭州(zhou)湖(hu)州(zhou)溫州(zhou)臺(tai)州(zhou)衢州(zhou)紹興金華萊寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

寧(ning)波余(yu)姚福州(zhou)廈門(men)泉州(zhou)深圳(zhen)廣州(zhou)珠海(hai)萊(lai)寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

廣(guang)州(zhou)惠州(zhou)通(tong)州(zhou)桂(gui)林(lin)南(nan)寧(ning)南(nan)昌(chang)贛州(zhou)武漢萊寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

成都重慶荊州(zhou)太原蘭(lan)州(zhou)烏魯木(mu)齊萊寶(bao)L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)租(zu)賃(lin)、上(shang)門(men)維修、上(shang)門(men)檢漏​

檢漏設(she)備(bei)對氦(hai)的(de)有效(xiao)抽速決定(ding)了氦(hai)氣通(tong)過漏孔(kong)進(jin)入(ru)檢漏儀(yi)的(de)時間(jian)（如(ru)果檢漏設(she)備(bei)沒(mei)有輔(fu)助抽空的(de)系統(tong)，檢漏儀(yi)內置的(de)真(zhen)空泵的(de)大小(xiao)會(hui)影(ying)響(xiang)系統(tong)的(de)響應時間(jian)）。檢漏系(xi)統(tong)的(de)響應時間(jian)可(ke)根(gen)據(ju)下(xia)面(mian)的(de)簡(jian)單(dan)公(gong)式(shi)計(ji)算(suan)：

氦(hai)響應(ying)時間(jian) 

(達到(dao)實(shi)際(ji)漏率95%的(de)時間(jian))

其(qi)中(zhong) V = 試驗對(dui)象(xiang)容(rong)積

S_He = 檢漏系(xi)統(tong)對(dui)氦(hai)的(de)有效(xiao)抽速。

用(yong)標(biao)準(zhun)漏孔(kong)校準(zhun)檢漏儀(yi)

檢漏工(gong)藝(yi)要(yao)求準(zhun)確地區(qu)分(fen)漏與(yu)不漏的(de)試用對(dui)象(xiang)，避(bi)免任何失誤。這(zhe)就(jiu)需要(yao)由(you)標準(zhun)漏孔(kong)（能(neng)產(chan)生已(yi)知氦(hai)漏率(lv)的(de)人工(gong)漏(lou)孔(kong)）作(zuo)為(wei)檢漏設(she)備(bei)的(de)基(ji)準。為(wei)了(le)獲(huo)得(de)準確(que)的(de)漏率數(shu)據(ju)，必(bi)須使用標準(zhun)漏(lou)孔(kong)對(dui)校準(zhun)檢漏儀(yi)進(jin)行(xing)校準(zhun)。

萊(lai)寶(bao)真(zhen)空可(ke)以(yi)提(ti)供采用不(bu)同(tong)原理(li)設計(ji)的(de)漏率範(fan)圍(wei)10 - 9 ~ 10 - 4毫巴(ba)x升(sheng)x秒(miao) - 1的(de)氦(hai)標準(zhun)漏孔(kong)。所(suo)有標(biao)準漏(lou)孔(kong)的(de)漏率都可(ke)以(yi)追(zhui)溯到(dao)PTB（ 聯邦物理(li)技(ji)術(shu)協(xie)會(hui)） 和(he)

DAKKS認(ren)證(zheng)認可(ke)的(de)標準。根據(ju)客(ke)戶(hu)的(de)要(yao)求， 每個氦(hai)標準(zhun)漏孔(kong)都可(ke)以(yi)提(ti)供由(you)DAkkS認證(zheng)認可(ke)委(wei)員(yuan)會(hui)頒(ban)發(fa)的(de)校準(zhun)證(zheng)書(shu)。校準(zhun)工(gong)作(zuo)由(you)萊寶(bao)真(zhen)空在PTB授(shou)權(quan)的(de)DAKKS校準(zhun)實(shi)驗(yan)室(shi)完(wan)成。

PHOENIX L300i MODUL是(shi)模(mo)塊化的(de)檢漏儀(yi)。它(ta)以(yi)PHOENIX L300i為(wei)基(ji)礎，但(dan)沒(mei)有集(ji)成前級(ji)真(zhen)空泵。客(ke)戶可(ke)以(yi)根據(ju)特(te)定(ding)用途(tu)選(xuan)擇(ze)並(bing)添加(jia)外(wai)部(bu)前(qian)級(ji)真(zhen)空泵。適(shi)合大(da)型(xing)真(zhen)空室(shi)檢漏或(huo)快(kuai)速循(xun)環(huan)檢大漏(lou)等(deng)檢漏應(ying)用(yong)。

PHOENIX L300i MODUL保(bao)持(chi)PHOENIXL300i特(te)性，並(bing)可(ke)以(yi)根據(ju)客(ke)戶(hu)需求配(pei)置前級(ji)泵(beng)。

兩個(ge)基(ji)本(ben)類型：

- 幹(gan)式(shi)檢漏系(xi)統(tong)（配(pei)置幹(gan)式(shi)前級(ji)泵(beng)）

- 油(you)式(shi)檢漏系(xi)統(tong)（配(pei)置油封(feng)式(shi)前級(ji)泵(beng)）

PHOENIX L300i MODUL配(pei)置(zhi)油(you)封(feng)前級(ji)泵(beng)

根(gen)據(ju)檢漏應(ying)用(yong)的(de)要(yao)求配(pei)置抽速適(shi)當的(de)前級(ji)泵(beng)將(jiang)檢漏儀(yi)的(de)功(gong)能(neng)發(fa)揮很好。

客(ke)戶(hu)得(de)益(yi)

- 高效(xiao)的(de)檢漏儀(yi)

- 抽速按照(zhao)特(te)定(ding)用途(tu)進(jin)行(xing)了(le)優化

- 響(xiang)應(ying)速(su)度快(kuai)

- 高靈敏度

- 可(ke)以(yi)快(kuai)速定(ding)量地檢測(ce)出小(xiao)漏(lou)

PHOENIX L300i MODUL配(pei)置(zhi)幹(gan)式(shi)前級(ji)泵(beng)

為(wei)客(ke)戶(hu)提(ti)供高效(xiao)的(de)幹(gan)式(shi)檢漏系(xi)統(tong)。

客(ke)戶(hu)得(de)益(yi)

- 大(da)抽速，可(ke)用(yong)於測(ce)試半導(dao)體生產設(she)備(bei)

而(er)不(bu)必采用輔(fu)助(zhu)抽空系統(tong)

- 響(xiang)應(ying)速(su)度快(kuai)

- 恢(hui)復(fu)時間(jian)短（氦(hai)汙染(ran)後）

- 幹(gan)燥(zao)無(wu)油

- 高靈敏度

氦(hai)質譜(pu)檢漏儀(yi)

L300i MODUL PHOENIX檢漏儀(yi)

氦(hai)檢質譜(pu)漏(lou)儀(yi)的(de)原理(li)氦(hai)檢質譜(pu)漏(lou)儀(yi)可(ke)查(zha)找(zhao)漏(lou)點位置(zhi)並測(ce)定(ding)漏率(lv)（通(tong)過漏孔(kong)的(de)氣體流(liu)量）。因此(ci)，氦(hai)質譜(pu)檢漏儀(yi)是(shi)壹(yi)臺(tai)氦(hai)流(liu)量計(ji)。檢漏儀(yi)在工(gong)作(zuo)過(guo)程(cheng)中(zhong)首(shou)先是(shi)對試驗對(dui)象(xiang)進(jin)行(xing)抽真(zhen)空，來(lai)形成壓差使(shi)外(wai)部(bu)氣體穿過漏(lou)孔(kong)進(jin)入(ru)檢漏儀(yi)。檢漏儀(yi)利(li)用內置氦(hai)質譜(pu)儀(yi)測(ce)量進(jin)入(ru)檢漏儀(yi)氣體氦(hai)分壓並將(jiang)測(ce)量結果轉換(huan)為(wei)漏(lou)率(lv)顯(xian)示(shi)。顯(xian)示(shi)值(zhi)單(dan)位壹(yi)般(ban)采用流(liu)量單(dan)位。重(zhong)要(yao)技(ji)術(shu)規(gui)範(fan)測(ce)量範(fan)圍(wei)和(he)響(xiang)應(ying)時間(jian)是(shi)檢漏儀(yi)的(de)兩個(ge)重(zhong)要(yao)的(de)參數(shu)。測(ce)量範(fan)圍(wei)用(yong)小(xiao)和(he)可(ke)檢漏率(lv)限(xian)定(ding)。小(xiao)可(ke)檢漏率(lv)用(yong)靈敏的(de)測(ce)量範(fan)圍(wei)系(xi)統(tong)的(de)漂移與噪(zao)聲之(zhi)和(he)定(ding)義(yi)。每分鐘(zhong)內系統(tong)噪(zao)聲幅(fu)度和(he)零點(dian)漂(piao)移相(xiang)加(jia)就(jiu)可(ke)以(yi)得(de)到(dao)低可(ke)檢漏率(lv)。檢漏儀(yi)的(de)...

PHOENIX L300i MODUL配(pei)置(zhi)油(you)封(feng)前級(ji)泵(beng)

典型應(ying)用

涉(she)短循(xun)環(huan)和(he)/或(huo)大(da)容(rong)積、需要(yao)有移(yi)動式(shi)

檢漏系(xi)統(tong)的(de)所有用(yong)途(tu)，例(li)如(ru)：

- 汽(qi)車(che)工(gong)業(ye)

- 制(zhi)冷行(xing)業(ye)

- 工(gong)業(ye)爐(lu)/機(ji)床/真(zhen)空系統(tong)

- 包裝

PHOENIX L300i MODUL配(pei)置(zhi)幹(gan)式(shi)前級(ji)泵(beng)

典型應(ying)用

需要(yao)工(gong)藝(yi)清潔(jie)的(de)所有用(yong)途(tu)，例(li)如(ru)：

- 半(ban)導(dao)體產(chan)業(ye)（芯片制(zhi)造(zao)商(shang)）

- 半(ban)導(dao)體產(chan)業(ye)（OEM和(he)分(fen)包商(shang)）

- 高純度氣體行(xing)業(ye)

- 科研

- 超高真(zhen)空應用(yong)