
日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
荏(ren)原制(zhi)作所(suo),離(li)心(xin)泵(beng)理論(lun)的(de)奠基者(zhe),創立於(yu)1912年(nian)(原名(ming)為井口式機械事務所(suo)),1920年更名(ming)為(wei)荏原制(zhi)作所(suo)。經過(guo)近(jin)百年發(fa)展(zhan),荏(ren)原已在(zai)建立了(le)101家(jia)子(zi)公司和18家(jia)參股(gu)公(gong)司,共有(you)雇員(yuan)近(jin)20000人(ren),躋身(shen)於世(shi)界機械制造業500強,成(cheng)為規(gui)模大的(de)泵(beng)類(lei)產(chan)品(pin)制造(zao)企(qi)業之壹(yi),年銷(xiao)售額(e)達45億(yi)多(duo)美金,其(qi)中泵(beng)類(lei)產(chan)品(pin)年銷(xiao)售額超(chao)過22億(yi)美金,位(wei)居世(shi)界泵(beng)類(lei)銷量前(qian)2名。
日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
荏(ren)原制(zhi)作所(suo)在(zai)日(ri)本設(she)有(you)三(san)家(jia)大型工(gong)廠:富(fu)津(jin)工(gong)廠(為了強化(hua)世(shi)界範圍(wei)內的(de)供貨(huo)體制(zhi),將羽(yu)田工(gong)廠搬遷至富(fu)津(jin)工(gong)廠。富(fu)津(jin)工(gong)廠作為荏(ren)原泵(beng)制造據(ju)點母(mu)工(gong)廠,2010年開(kai)始運(yun)轉(zhuan))藤(teng)澤工(gong)廠(建於1965年,主要生產(chan)通(tong)用泵(beng)、制冷機、半導(dao)體(ti)和產(chan)用機器裝(zhuang)置,是(shi)荏原制(zhi)作所(suo)大的(de)生產(chan)基地),袖浦工(gong)廠(主要生產(chan)壓縮(suo)機、氣(qi)輪機(ji)、燃氣(qi)輪機(ji)和高(gao)速旋轉機(ji)械)。
荏原的(de)網(wang)絡遍(bian)及(ji)。在(zai)海(hai)外有(you)60家子(zi)公(gong)司,其中泵(beng)制造公司有(you)15家,縮(suo)短(duan)了(le)產(chan)品(pin)供貨(huo)周期(qi),快(kuai)捷高(gao)效地服(fu)務於(yu)客戶(hu)。1988年(nian)在(zai)意大利(li)Brendola成(cheng)立的(de)荏原泵(beng)業(歐(ou)洲(zhou))有(you)限公(gong)司,於1992年(nian)在(zai)意大利(li)Trento省(sheng)的Cles建立(li)了(le)工(gong)廠,成(cheng)為歐(ou)洲(zhou)大的不銹鋼泵(beng)生產(chan)廠家(jia)。
荏原泵(beng)產(chan)品(pin)憑(ping)借其專業的技(ji)術(shu)和(he)超(chao)高(gao)的產(chan)品(pin)質(zhi)量獲得(de)世(shi)界各(ge)地*好(hao)評(ping),被譽為“泵(beng)的巨人”。
日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
幹(gan)式真(zhen)空泵(beng)在(zai)使用過程中常見故(gu)障(zhang):
1、泵(beng)卡死不能運(yun)轉
2、真(zhen)空度降(jiang)低(di)
3、起(qi)動(dong)困難
4、真(zhen)空度抽(chou)不上(shang)去或(huo)抽(chou)上(shang)去穩(wen)不住(zhu)
5、噪音大
69、電(dian)機發(fa)熱
幹(gan)式真(zhen)空泵(beng)行(xing)業應(ying)用:
1. 分析儀(yi)器; 2. 電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡; 3. 表(biao)面(mian)分析(xi)儀(yi); 4. 檢漏儀(yi); 5. 質(zhi)譜(pu)儀(yi); 6. 光譜(pu)儀(yi); 7. R&D; 8. 離(li)子(zi)加(jia)速器; 9. 分(fen)子泵(beng)組; 10. 實(shi)驗室(shi); 11. 工(gong)業; 12. 燈泡(pao)生產(chan); 13. 真(zhen)空鍍膜(mo); 14. 深冷(leng)泵(beng)再(zai)生; 15. 電(dian)離(li)清(qing)潔(jie); 16. 幹燥(zao); 17. 上(shang)料(liao)預抽(chou)真(zhen)空; 18. 需(xu)要特殊(shu)方(fang)案(an)的特(te)殊應(ying)用; 19. 已有(you)的特(te)殊(shu)版(ban)本; 20. He閉(bi)環回圈; 84. 超(chao)高(gao)真(zhen)空系統(tong)分子(zi)泵(beng)背泵(beng)
為了滿(man)足全(quan)國(guo)各(ge)地區(qu)真(zhen)空客戶(hu)維(wei)修難(nan)、維(wei)修費(fei)用高(gao)等(deng)問(wen)題,蘇(su)州(zhou)高(gao)真(zhen)空維(wei)修中心(xin)成(cheng)立維(wei)修保(bao)養服(fu)務工(gong)廠,擁有(you)專業的技(ji)術(shu)工(gong)程師(shi),維(wei)修工(gong)程師(shi)都(dou)得(de)到原廠(chang)的正(zheng)規培訓(xun),*有(you)實(shi)力(li)提(ti)供幹(gan)泵(beng)的維(wei)修、保(bao)養服(fu)務。
昆(kun)山熙(xi)日(ri)目前主要維(wei)修的(de)品(pin)牌:德國(guo)Pfeiffer普發幹(gan)式真(zhen)空泵(beng),英國(guo)Edwards愛德(de)華小型濕/幹(gan)泵(beng),日(ri)本ULVAC愛(ai)發(fa)科(ke)幹式(shi)真(zhen)空泵(beng),法國(guo)Alcatel阿(e)爾(er)卡(ka)特(te)幹(gan)泵(beng),美國(guo)Agilent安(an)捷倫(lun)幹(gan)式(shi)渦輪(lun)泵(beng),德國(guo)Leybold萊寶幹(gan)泵(beng),日(ri)本EBARA荏(ren)原幹(gan)泵(beng),德國(guo)BUSCH普旭幹(gan)泵(beng),德國(guo)BECKER貝克(ke)幹(gan)泵(beng),美國(guo)WELCH韋爾(er)奇(qi)幹(gan)式(shi)WOB-L活(huo)塞(sai)泵(beng),美國(guo)GAST嘉(jia)士達(da)幹(gan)泵(beng),德國(guo)Rietschle裏其(qi)樂幹泵(beng),日(ri)本Orion好(hao)利(li)旺幹式真(zhen)空泵(beng),日(ri)本IWATA巖田無(wu)油渦旋(xuan)式(shi)幹泵(beng),日(ri)本Kashiyama樫(樫)山幹(gan)泵(beng)。
羅茨(ci)真(zhen)空泵(beng) 抽氣(qi)速度:30,000L/min 適合(he)輕制程 Model ESA系列(lie)是(shi)新研(yan)發(fa)的(de)*幹(gan)式真(zhen)空泵(beng),具(ju)有(you)優 越的(de)高(gao)速排氣(qi)性能,從而(er)適(shi)應(ying)了(le)LCD濺射(she)制膜(mo) 裝置,真(zhen)空幹燥(zao)制程,大型 L/L等(deng)工(gong)藝(yi)要求。並擁有(you)高(gao)附加(jia)價值,對應(ying)氣(qi)體 負(fu)荷自(zi)動(dong)控制(zhi)轉速,高(gao)通(tong)信功(gong)能等(deng)。
特(te)點:
● 較(jiao)適用於大型真(zhen)空反應(ying)室(shi)的(de)高(gao)速排氣(qi)
● 具(ju)有(you)高(gao)性能通(tong)信機能
● 轉速自(zi)動(dong)調節(jie)功(gong)能
● 采(cai)用高(gao)度控(kong)制泵(beng)運轉方式(shi)
● 采(cai)用大口徑轉(zhuan)子(zi),設計上(shang)*小(xiao)型
● 不產(chan)生真(zhen)空泵(beng)大型化(hua)所(suo)引起(qi)的搬運(yun)性能降(jiang)低(di)
● 也可用於有(you)機溶(rong)劑排氣(qi)上(shang)用的特別(bie)規(gui)格(ge)

| Model ESA系(xi)列(lie) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Model | ESA15-D | ESA25-D | ESA70W(-D) ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF ESA80WN-HDF | ESA100W ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) | 1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
*Typical Application | MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum | Large volume load lock Other clean vacuum | ||||||
蘇(su)州(zhou)昆山太(tai)倉(cang)無錫上(shang)海(hai)張(zhang)家港(gang)吳(wu)江常熟鎮(zhen)江(jiang)日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W 荏(ren)原 ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
常州(zhou)揚州(zhou)泰州(zhou)南通(tong)南京啟東(dong)海(hai)門如(ru)臯(gao)海(hai)門海(hai)安(an)日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
如(ru)東(dong)宿(xiu)遷徐(xu)州(zhou)合(he)肥蕪湖(hu)杭州(zhou)湖州(zhou)溫(wen)州(zhou)臺州(zhou)衢州(zhou)日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
紹(shao)興(xing)金華寧波余姚福(fu)州(zhou)廈門泉(quan)州(zhou)深圳(zhen)廣州(zhou)珠海(hai)日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
廣州(zhou)惠州(zhou)通(tong)州(zhou)桂林南寧(ning)南昌(chang)贛(gan)州(zhou)武漢(han)成(cheng)都(dou)重慶日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
荊(jing)州(zhou)太(tai)原蘭州(zhou)烏魯木(mu)齊日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
家(jia)莊(zhuang)天津(jin)長(chang)春(chun)吉(ji)林濟南青島(dao)威(wei)海(hai)德州(zhou)日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
連(lian)雲(yun)港(gang)昆(kun)明(ming)九江安(an)慶日(ri)本EBARA荏(ren)原ESA200W ESA300W真(zhen)空泵(beng)維(wei)修
壹(yi)、進口真(zhen)空泵(beng)維(wei)修:
1、BOC EDWARDS(愛(ai)德華):GV系列(lie)(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(lie)(IQDP80)、QDP系(xi)列(lie)、DP系(xi)列、E1M系列、E2M系列、EH系列(lie)、QMB系列、RV系(xi)列、ESDP12、GVSP30等(deng)。
2、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡(ka)特(te)):ADS系(xi)列(lie)(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(lie)(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系(xi)列(lie)、I系列、H1系(xi)列、A系(xi)列等(deng)。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系(xi)列(lie)(SV65B等(deng))、SC系(xi)列(lie)、DIVAC系(xi)列(lie)、DK系列、DRYVAC系列(lie)、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系(xi)列(lie)等(deng)
4、EBARA(易(yi)巴(ba)拉(la)):A系(xi)列(lie)、AV系列、AW系(xi)列(lie)、AA系(xi)列、AAS系(xi)列、X系(xi)列(lie)等(deng)。
5、KASHIYAMA:MU系(xi)列(lie)、SDE系(xi)列(lie)、SDL系列、KMB系列(lie)、NeoDRY系列等(deng)。
6、ORION(好(hao)利(li)旺):KRX系列、CBX系列(lie)、KRF系列(lie)、KHF系列、KHA系列(lie)、KRA系列、KHH系(xi)列(lie)等(deng)。
7、BECKER(貝(bei)克(ke)):U系(xi)列(lie)、VT系(xi)列(lie)、KVT系列(lie)、VTLF系列(lie)、T系列、DVT系(xi)列、DVTLF系列等(deng)。
8、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片(pian)真(zhen)空泵(beng)系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式(shi)旋片(pian)真(zhen)空/壓縮(suo)泵(beng)系列、VL/DT/KT幹式(shi)旋片(pian)真(zhen)空/壓縮(suo)泵(beng)系列等(deng)。
9、ULVAC(愛(ai)發(fa)科(ke)):GLD油旋片(pian)真(zhen)空泵(beng)系列、VDN/VSN油選片(pian)真(zhen)空泵(beng)系列、PVD油旋片(pian)真(zhen)空泵(beng)系列等(deng)。
10、VIRIAN(瓦(wa)裏(li)安(an)):DS/HS/SD/CD系列(lie)油旋片(pian)真(zhen)空泵(beng)系列、TS/DS幹式(shi)真(zhen)空泵(beng)系列等(deng)。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢(han)鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二(er)、進口真(zhen)空泵(beng)配件(jian)銷(xiao)售(shou):
1、類(lei)型:真(zhen)空泵(beng)維(wei)修包(bao)、旋片(pian)、軸承(cheng)、油封(feng)、過(guo)濾器、轉(zhuan)子、軸、隔(ge)板、密封(feng)圈、定位(wei)銷(xiao)、控制板等(deng)。
2、品(pin)牌:BOC EDWARDS(愛德(de)華)、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡(ka)特(te))、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依(yi)巴(ba)拉)、KASHIYAMA、ORION(好(hao)利(li)旺)、BECKER(貝克(ke))、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂)、ULVAC(愛發(fa)科(ke))、VIRIAN(瓦裏安(an))等(deng)。
三(san)、進口真(zhen)空油銷售(shou):
品(pin)牌:FOMBLIN真(zhen)空油、EDWARDS真(zhen)空油、ADIXEN真(zhen)空油等(deng)。
昆山熙(xi)日(ri)機械設備(bei)有(you)限公(gong)司
電(dian)話:86-0512-36687634
傳真(zhen):86-0512-36687634
地址:江(jiang)蘇(su)省(sheng)昆山市(shi)陸(lu)家鎮(zhen)友誼路290號(hao)
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