Edwards STP1003 是(shi)新型(xing)的渦(wo)輪(lun)分(fen)子泵(beng)，可(ke)用(yong)於(yu)良好的半(ban)導體(ti)應(ying)用。Edwards 的轉子(zi)技(ji)術(shu)可實(shi)現的性能(neng)，大的制程(cheng)靈活(huo)性。這種(zhong)泵(beng)已(yi)經(jing)由(you)半(ban)導體(ti)和(he)磁介質行(xing)業(ye)的大型(xing)設備制造(zao)商(shang)投入使用(yong)，並得(de)到了認可。英國(guo)愛德華(hua)STP1003 渦(wo)輪(lun)分(fen)子真(zhen)空泵(beng)維(wei)修

愛德華(hua)T-Station 85分(fen)子渦(wo)輪(lun)真(zhen)空泵(beng)維(wei)修站將(jiang) nEXT85H 渦(wo)輪(lun)泵(beng)與(yu)幹泵(beng)或(huo)油封泵(beng) 以(yi)及簡(jian)易控(kong)制器(qi)無(wu)縫(feng)結合(he)，可實(shi)現 47 l/s – 84 l/s 的抽取速度。

Edwards STP301 用(yong)於(yu)電(dian)子顯微(wei)鏡和(he)半(ban)導體(ti)應(ying)用。Edwards 的轉子(zi)技(ji)術(shu)可實(shi)現性能(neng)，大的制程(cheng)靈活(huo)性。STP301 已經(jing)由(you)科學(xue)儀(yi)器(qi)、半(ban)導體(ti)和(he)磁介質行(xing)業(ye)的大型(xing)設備制造(zao)商(shang)投入使用(yong)，並得(de)到了認可。英國(guo)愛德華(hua)渦(wo)輪(lun)分(fen)子真(zhen)空泵(beng)STP301 STP603

STP-XA3203C 渦(wo)輪(lun)泵(beng)為(wei)高(gao)真(zhen)空到 2300 sccm 制程(cheng)流的制程(cheng)範圍(wei)內(nei)提(ti)供高(gao)性能(neng)，並提(ti)高(gao)所有(you)氣(qi)體(ti)的吞吐量。 此(ci)泵(beng)基(ji)於(yu)新的平臺(tai)設計，提(ti)供各種(zhong)功(gong)能(neng)以改(gai)善熱管(guan)理(li)，從而(er)增強(qiang)在(zai)嚴苛制(zhi)程(cheng)中的性能(neng)，提高(gao)大制程(cheng)流能(neng)力，並減(jian)少(shao)腐(fu)蝕和(he)沈積(ji)的影(ying)響。英國(guo)愛德華(hua)渦(wo)輪(lun)分(fen)子真(zhen)空泵(beng)STP-XA3203C維(wei)修

STP-XA2703C 渦(wo)輪(lun)泵(beng)為(wei)高(gao)真(zhen)空到 2300 sccm 制程(cheng)流的制程(cheng)範圍(wei)內(nei)提(ti)供高(gao)性能(neng)，並提(ti)高(gao)所有(you)氣(qi)體(ti)的吞吐量。 此(ci)泵(beng)基(ji)於(yu)新的平臺(tai)設計，提(ti)供各種(zhong)功(gong)能(neng)以改(gai)善熱管(guan)理(li)，從而(er)增強(qiang)在(zai)嚴苛制(zhi)程(cheng)中的性能(neng)，提高(gao)大制程(cheng)流能(neng)力，並減(jian)少(shao)腐(fu)蝕和(he)沈積(ji)的影(ying)響。英國(guo)愛德華(hua)渦(wo)輪(lun)分(fen)子真(zhen)空泵(beng)STP-XA2703C維(wei)修