英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵STP301、STP603 ISO100 入(ru)口 KF25 出(chu)口

概(gai)述(shu)

Edwards STP301 用於電(dian)子(zi)顯微鏡(jing)和半(ban)導體(ti)應(ying)用。Edwards 的(de)轉(zhuan)子(zi)技術可(ke)實(shi)現的(de)性能，大的(de)制(zhi)程(cheng)靈活性。STP301 已經由科學(xue)儀器(qi)、半導體(ti)和(he)磁介(jie)質行(xing)業(ye)的(de)大(da)型設備制(zhi)造商投(tou)入(ru)使用，並得(de)到了認可(ke)。
 
此(ci) STP 泵在供貨(huo)時(shi)帶(dai)有入(ru)口篩(shai)網。
  
如(ru)需(xu)完(wan)整(zheng)安(an)裝，請(qing)訂購壹(yi)臺 STP 泵、壹(yi)個控(kong)制(zhi)器、壹(yi)根連(lian)接(jie)電(dian)纜(lan)和(he)壹(yi)根電(dian)源(yuan)電(dian)纜(lan)。英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603
 

應(ying)用

• 金(jin)屬（鋁）、鎢(wu)和電(dian)介(jie)質（氧(yang)化物）以(yi)及(ji)多晶(jing)矽(gui)等離(li)子(zi)刻蝕（氯(lv)化物、氟(fu)化物和(he)溴化物）
• 電(dian)子(zi)回旋(xuan)共(gong)振(zhen) (ECR) 刻蝕
• 薄(bo)膜(mo)沈積(ji) CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺(jian)射(she)
• 離(li)子(zi)註入(ru)源，射(she)束線泵送(song)端點站(zhan)
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫(tuo)模
• 晶(jing)體(ti)/晶(jing)膜(mo)生長
• 晶(jing)片(pian)檢(jian)查
• 負(fu)載(zai)鎖真空(kong)腔(qiang)
• 科學(xue)儀器(qi)：表面(mian)分析(xi)、質(zhi)譜(pu)分析、電(dian)子(zi)顯微鏡(jing)
• 高能物理(li)：射(she)束(shu)線、加速(su)器
• 放射(she)線應(ying)用：融合(he)系統(tong)、回旋(xuan)英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603

  功(gong)能和優(you)勢(shi)

  良(liang)好(hao)的(de)轉(zhuan)子(zi)技術  

• 大(da)的(de)制(zhi)程(cheng)靈活性

• 無(wu)油(you)

• 低(di)振(zhen)動

• 高(gao)度可靠

• 免(mian)維(wei)護(hu)

• 良(liang)好(hao)的(de)控(kong)制(zhi)器設計  

• 自動調(tiao)整(zheng)

• 自行(xing)診(zhen)斷功(gong)能

• 直流電(dian)機(ji)驅動

• 無(wu)電(dian)池運(yun)行(xing)

• 緊湊(cou)型設計  

• 占地面(mian)積(ji)小(xiao)

• 半(ban)機(ji)架控(kong)制(zhi)器

  技(ji)術データ

  入(ru)口法(fa)蘭	ISO100，CF100
  出(chu)口(kou)	KF25
  抽(chou)速(su)
  N2	300 ls-1
  H2	300 ls-1
  壓(ya)縮(suo)比
  N2	>108
  H2	>2 x 104
  加(jia)熱時的(de)極限壓(ya)力(li)（VG/ISO 法(fa)蘭）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
  加(jia)熱時的(de)極限壓(ya)力(li)（ICF 法(fa)蘭）	10-8 Pa (10-10 Torr)
  大(da)允(yun)許(xu)進氣(qi)口(kou)壓(ya)力(li)（環境空氣(qi)冷(leng)卻(que)）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
  大連續(xu)出口(kou)壓(ya)力(li)（環境空氣(qi)冷(leng)卻(que)）	13 Pa (0.1 Torr)
  額定(ding)速度	48000 rpm
  啟動時(shi)間	3 min
  高入(ru)口法(fa)蘭溫(wen)度	120 °C
  輸入(ru)電(dian)壓(ya)	100 至 120 (± 10%) V 交(jiao)流或(huo)
  	200 至 240 (± 10%) V 交(jiao)流
  啟(qi)動時(shi)的(de)功(gong)耗(hao)	0.55 kVA
  泵重(zhong)量(liang)	11 kg
  控制(zhi)器重(zhong)量(liang)	7 kg

 蘇(su)州(zhou)昆山(shan)太倉無錫(xi)上(shang)海張(zhang)家港吳江(jiang)常熟英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

鎮江(jiang)常州(zhou)揚(yang)州(zhou)泰州(zhou)南通(tong)南京啟(qi)東海門(men)如(ru)臯英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

海(hai)門(men)海(hai)安(an)如東(dong)宿遷徐(xu)州(zhou)合肥(fei)蕪湖(hu)杭(hang)州(zhou)湖州(zhou)英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

溫(wen)州(zhou)臺州(zhou)衢州(zhou)紹興(xing)金(jin)華(hua)寧波(bo)余(yu)姚(yao)福(fu)州(zhou)廈門(men)英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)
泉(quan)州(zhou)深(shen)圳(zhen)廣(guang)州(zhou)珠海(hai)廣(guang)州(zhou)惠州(zhou)通(tong)州(zhou)桂(gui)林(lin)南寧英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

南昌(chang)贛州(zhou)武漢(han)成(cheng)都重(zhong)慶荊(jing)州(zhou)太原蘭州(zhou)英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

烏魯木(mu)齊石(shi)家(jia)莊(zhuang)天(tian)津長春(chun)吉(ji)林(lin)濟(ji)南青島英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

威(wei)海(hai)德(de)州(zhou)連雲(yun)港昆明九江(jiang)安(an)慶英(ying)國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵維(wei)修、愛德(de)華(hua)真空(kong)泵(beng)STP301 STP603保(bao)養(yang)

壹(yi)、進口真空(kong)泵(beng)維(wei)修：
1、BOC EDWARDS(愛德(de)華(hua))：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(lie)(IQDP80)、QDP系(xi)列(lie)、DP系列(lie)、E1M系列(lie)、E2M系(xi)列(lie)、EH系列、QMB系(xi)列(lie)、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾(er)卡特(te))：ADS系列(lie)(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列(lie)、SD系(xi)列、C1系列(lie)、C2系列、I系列(lie)、H1系(xi)列(lie)、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系(xi)列(SV65B等)、SC系(xi)列(lie)、DIVAC系(xi)列、DK系列、DRYVAC系(xi)列(lie)、WS系(xi)列(lie)、SP系(xi)列(lie)、TRIVAC系(xi)列(lie)、WH/WHU系列(lie)等(deng)
4、EBARA(易(yi)巴拉(la))：A系(xi)列、AV系(xi)列(lie)、AW系列、AA系列(lie)、AAS系列、X系(xi)列等(deng)。
5、KASHIYAMA：MU系(xi)列、SDE系(xi)列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系(xi)列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系(xi)列(lie)、CBX系列、KRF系(xi)列、KHF系(xi)列(lie)、KHA系(xi)列(lie)、KRA系列、KHH系列(lie)等。
7、BECKER(貝克(ke))：U系(xi)列(lie)、VT系(xi)列、KVT系(xi)列(lie)、VTLF系列、T系列(lie)、DVT系列、DVTLF系列(lie)等(deng)。
8、RIETSCHLE(裏其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油(you)旋(xuan)片真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式(shi)旋(xuan)片真空(kong)/壓(ya)縮(suo)泵系(xi)列、VL/DT/KT幹式(shi)旋(xuan)片真空(kong)/壓(ya)縮(suo)泵系(xi)列等(deng)。
9、ULVAC(愛發(fa)科)：GLD油(you)旋(xuan)片真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、VDN/VSN油(you)選(xuan)片真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、PVD油(you)旋(xuan)片真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)等(deng)。
10、VIRIAN(瓦裏安(an))：DS/HS/SD/CD系列(lie)油(you)旋(xuan)片真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、TS/DS幹式(shi)真空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)等(deng)。
11、IWATA（巖(yan)田(tian)）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空(kong)泵(beng)配(pei)件銷售：
1、類(lei)型：真空(kong)泵(beng)維(wei)修包、旋(xuan)片、軸承(cheng)、油(you)封(feng)、過(guo)濾器(qi)、轉(zhuan)子(zi)、軸、隔板、密(mi)封(feng)圈、定(ding)位銷、控制(zhi)板等(deng)。
2、品牌(pai)：BOC EDWARDS(愛德(de)華(hua))、ALCATEL(阿爾卡特(te))、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依(yi)巴拉(la))、KASHIYAMA、ORION(好(hao)利旺)、BECKER(貝克(ke))、RIETSCHLE(裏其樂)、ULVAC(愛(ai)發(fa)科)、VIRIAN(瓦裏安(an))等。

三(san)、進口真空(kong)油(you)銷售：
品(pin)牌(pai)：FOMBLIN真空(kong)油(you)、EDWARDS真空(kong)油(you)、ADIXEN真空(kong)油(you)等(deng)。