英(ying)國(guo)愛德(de)華渦輪(lun)分子(zi)泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

概述

STP-XA3203C 渦輪(lun)泵為(wei)高真(zhen)空(kong)到 2300 sccm 制(zhi)程流(liu)的(de)制(zhi)程範(fan)圍內提供高性能(neng)，並提高所有(you)氣體的(de)吞(tun)吐量。 

此(ci)泵基於(yu)新的(de)平(ping)臺(tai)設計(ji)，提供各種功(gong)能(neng)以改善熱管(guan)理，從而增(zeng)強(qiang)在嚴(yan)苛制(zhi)程中的(de)性能(neng)，提高大(da)制(zhi)程流(liu)能(neng)力(li)，並(bing)減(jian)少(shao)腐蝕和(he)沈(chen)積(ji)的(de)影(ying)響(xiang)。

其(qi)出色(se)的(de)性能(neng)既適用(yong)於(yu)溫和(he)的(de)應(ying)用(yong)環(huan)境(jing)，也適用(yong)於(yu)嚴(yan)苛的(de)環(huan)境(jing)，例如半(ban)導(dao)體刻蝕、註入(ru)、光(guang)刻(ke)和(he) LCD 制(zhi)程。英(ying)國(guo)愛德(de)華渦輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵STP-XA3203C維(wei)修(xiu)

應用(yong)

• 金(jin)屬(shu)（鋁）、鎢(wu)和(he)電介(jie)質（氧(yang)化(hua)物）以及多(duo)晶矽(gui)等(deng)離子(zi)刻(ke)蝕(shi)（氯(lv)化(hua)物、氟化(hua)物和(he)溴(xiu)化(hua)物）
• 電子(zi)回(hui)旋(xuan)共振 (ECR) 刻(ke)蝕(shi)
• 薄膜沈積(ji) CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子(zi)註(zhu)入(ru)源，射束線泵送(song)端點(dian)站(zhan)
• MBE
• 擴(kuo)散(san)
• 光(guang)致抗蝕(shi)劑脫模(mo)
• 晶體/晶膜生長(chang)
• 晶片(pian)檢(jian)查(zha)
• 負載鎖真空(kong)腔(qiang)
• 科學(xue)儀器：表(biao)面分析、質譜(pu)分(fen)析、電子(zi)顯(xian)微鏡
• 高能(neng)物理：射(she)束線、加速(su)器(qi)
• 放射(she)線應用(yong)：融(rong)合(he)系統(tong)、回(hui)旋(xuan)

功(gong)能(neng)和(he)優(you)勢

良(liang)好(hao)的(de)轉(zhuan)子(zi)設(she)計(ji)  

• 增(zeng)強(qiang)的(de) H2、N2 和(he) Ar 性能(neng)

• 改進了在(zai)高真(zhen)空(kong)到 2300 sccm 制(zhi)程壓(ya)力(li)範(fan)圍內的(de)性能(neng)

• 免(mian)維(wei)護

5 軸磁懸(xuan)浮系統(tong)  

• 無(wu)汙染(ran)

• 低振(zhen)動

創新性轉(zhuan)矩管(guan)理  

• 獲(huo)得轉(zhuan)矩減(jian)少(shao)機(ji)械(xie)裝(zhuang)置(zhi)

優(you)化(hua)的(de)溫(wen)度(du)管(guan)理系(xi)統  

• 高溫(wen) TMS 能(neng)力(li)

• 低(di)沈(chen)積(ji)

• 內置(zhi)冷(leng)卻機(ji)械(xie)裝(zhuang)置(zhi)

• 更(geng)高的(de)氣(qi)體吞吐量（加熱和(he)未(wei)加熱）

• 延(yan)長(chang)壽命

• 可(ke)用(yong)於(yu)嚴(yan)苛制(zhi)程英(ying)國(guo)愛德(de)華渦輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵STP-XA3203C維(wei)修(xiu)

認證(zheng)  

• 符(fu)合(he) SEMI®，具有(you) CE 標記，列(lie)於(yu) UL 中

技(ji)術數據(ju)

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壹(yi)、進口(kou)真(zhen)空(kong)泵維(wei)修(xiu)：
1、BOC EDWARDS(愛德(de)華)：GV系列(lie)(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(lie)(IQDP80)、QDP系(xi)列(lie)、DP系(xi)列、E1M系(xi)列、E2M系列、EH系(xi)列(lie)、QMB系(xi)列(lie)、RV系(xi)列(lie)、ESDP12、GVSP30等(deng)。
2、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡特(te))：ADS系(xi)列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系(xi)列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列(lie)、SD系列(lie)、C1系列、C2系(xi)列(lie)、I系列(lie)、H1系(xi)列、A系列(lie)等(deng)。
3、LEYBOLD(萊(lai)寶)：SV系列(SV65B等(deng))、SC系(xi)列、DIVAC系列(lie)、DK系列(lie)、DRYVAC系(xi)列、WS系列、SP系列(lie)、TRIVAC系(xi)列(lie)、WH/WHU系(xi)列(lie)等(deng)
4、EBARA(易(yi)巴(ba)拉(la))：A系列(lie)、AV系(xi)列(lie)、AW系列、AA系(xi)列、AAS系(xi)列(lie)、X系列等(deng)。
5、KASHIYAMA：MU系(xi)列、SDE系列(lie)、SDL系列(lie)、KMB系(xi)列、NeoDRY系列等(deng)。
6、ORION(好(hao)利旺)：KRX系列(lie)、CBX系(xi)列、KRF系列(lie)、KHF系列(lie)、KHA系(xi)列(lie)、KRA系(xi)列、KHH系列等(deng)。
7、BECKER(貝(bei)克)：U系列(lie)、VT系(xi)列、KVT系列(lie)、VTLF系列(lie)、T系(xi)列(lie)、DVT系(xi)列、DVTLF系列等(deng)。
8、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油(you)旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹(gan)式旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)/壓(ya)縮泵系列、VL/DT/KT幹(gan)式旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)/壓(ya)縮泵系列等(deng)。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)泵系列、VDN/VSN油(you)選片(pian)真(zhen)空(kong)泵系列、PVD油(you)旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)泵系列等(deng)。
10、VIRIAN(瓦(wa)裏(li)安(an))：DS/HS/SD/CD系(xi)列油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空(kong)泵系列、TS/DS幹(gan)式真(zhen)空(kong)泵系列等(deng)。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢(han)鐘(zhong)）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jin)口(kou)真(zhen)空(kong)泵配件銷(xiao)售(shou)：
1、類型：真空泵維(wei)修(xiu)包、旋(xuan)片(pian)、軸(zhou)承、油(you)封、過濾器、轉(zhuan)子(zi)、軸(zhou)、隔(ge)板(ban)、密封圈(quan)、定(ding)位銷(xiao)、控制(zhi)板(ban)等(deng)。
2、品牌(pai)：BOC EDWARDS(愛德(de)華)、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡特(te))、LEYBOLD(萊(lai)寶)、EBARA(依巴(ba)拉(la))、KASHIYAMA、ORION(好利(li)旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裏(li)安(an))等(deng)。

三(san)、進口(kou)真(zhen)空(kong)油(you)銷(xiao)售(shou)：
品牌(pai)：FOMBLIN真(zhen)空油(you)、EDWARDS真(zhen)空(kong)油、ADIXEN真(zhen)空油等(deng)。