英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進氣口

概述(shu)

Edwards STP1003 是新型(xing)的渦輪(lun)分子(zi)泵，可(ke)用於良(liang)好的(de)半導(dao)體(ti)應(ying)用。Edwards 的轉(zhuan)子(zi)技術可實(shi)現(xian)的(de)性(xing)能，大(da)的(de)制程靈(ling)活(huo)性(xing)。這(zhe)種(zhong)泵已(yi)經由(you)半導(dao)體(ti)和磁介(jie)質行業的大(da)型(xing)設(she)備(bei)制造(zao)商投入使(shi)用，並得(de)到了認(ren)可。英(ying)國愛德華STP1003 渦輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵維(wei)修

應(ying)用

• 金(jin)屬(shu)（鋁(lv)）、鎢(wu)和電介(jie)質（氧(yang)化物(wu)）以及多晶矽等離(li)子(zi)刻蝕(shi)（氯(lv)化(hua)物(wu)、氟(fu)化物(wu)和溴化(hua)物(wu)）
• 電子(zi)回旋共(gong)振(zhen) (ECR) 刻蝕(shi)
• 薄膜沈積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺(jian)射(she)
• 離子(zi)註(zhu)入源(yuan)，射(she)束線泵送(song)端(duan)點(dian)站(zhan)
• MBE
• 擴散(san)
• 光(guang)致抗(kang)蝕(shi)劑(ji)脫模(mo)
• 晶(jing)體/晶膜(mo)生(sheng)長
• 晶(jing)片檢查(zha)
• 負(fu)載(zai)鎖(suo)真(zhen)空(kong)腔
• 科學儀器(qi)：表面分(fen)析、質譜分析、電(dian)子(zi)顯微(wei)鏡(jing)
• 高(gao)能物(wu)理：射(she)束線、加速器(qi)
• 放射(she)線應(ying)用：融(rong)合系(xi)統(tong)、回旋

  功能和優勢(shi)

  良(liang)好的(de)轉(zhuan)子(zi)技術  

• 大(da)的(de)制程靈(ling)活(huo)性(xing)

• 無油(you)

• 低(di)振(zhen)動

• 高(gao)度可靠(kao)

• 免(mian)維(wei)護

• 可用於嚴苛(ke)制程（C 型(xing)）

• 使用壽命(ming)延長

• 良(liang)好的(de)控制器(qi)設(she)計(ji)  

• 自動調(tiao)整(zheng)

• 自行診斷功能

• 直流(liu)電(dian)機(ji)驅動(dong)

• 無電(dian)池(chi)運行(xing)

• 緊(jin)湊(cou)型(xing)設(she)計(ji)  

• 占地面積小(xiao)

• 半機(ji)架(jia)控制器(qi)英國愛德華STP1003 渦輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵維(wei)修

  技術數據(ju)

  入口法(fa)蘭	ISO200F
  出口	KF40
  吹(chui)掃口	KF10
  抽(chou)速
  N2	1000 ls-1
  H2	800 ls-1
  壓(ya)縮比
  N2	>108
  H2	>105
  加熱時的(de)極(ji)限壓(ya)力（VG/ISO 法(fa)蘭）	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  加熱時的(de)極(ji)限壓(ya)力（ICF 法(fa)蘭）	10-8 Pa
  	(10-10 Torr)
  大(da)連續出口壓(ya)力	13 Pa
  	(0.1 Torr)
  額定速度	35000 rpm
  啟動時間(jian)	6 分(fen)鐘
  高(gao)入口法(fa)蘭溫(wen)度	120 °C
  輸入(ru)電(dian)壓	100 至 120 (± 10) V 交(jiao)流(liu)或(huo)
  	至 240 (± 10) V 交(jiao)流(liu)
  啟動時的(de)功耗(hao)	0.8 kVA
  泵重(zhong)量(liang)	31 kg
  控制器(qi)重量	9 kg

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