
TURBOVAC i(T)系(xi)列分子(zi)泵(beng)在其(qi)工(gong)作(zuo)範圍(wei)內(nei)對各類氣(qi)體都(dou)具有(you)最(zui)的(de)高(gao)性(xing)能表(biao)現和(he)最(zui)大(da)的(de)抽(chou)速(su)。
萊(lai)寶(bao)真空(kong)泵(beng)半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)TURBOVAC 450 i/iX
半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)TURBOVAC 450 i/iX
萊寶(bao)真空(kong)生產(chan)的渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)能夠獲(huo)得潔(jie)凈(jing)的高(gao)真(zhen)空(kong)和(he)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong),具(ju)有操作簡(jian)單,可靠性(xing)高(gao)等(deng)特(te)點(dian)。與性(xing)能良(liang)好(hao)的(de)前(qian)級(ji)泵(beng)組(zu)合(he)後(hou),可以(yi)實現低(di)於(yu)10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶(bao)真空(kong)是世界(jie)上渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)領(ling)導(dao)品(pin)牌(pai)之(zhi)壹。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子(zi)泵(beng)成(cheng)功(gong)應用於(yu)許(xu)多(duo)場合(he)。工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)轉子(zi)是壹個(ge)帶(dai)葉片(pian)的渦(wo)輪,快(kuai)速(su)旋(xuan)轉(zhuan)的(de)葉(ye)片將(jiang)動(dong)量傳(chuan)輸給氣體分子(zi),將(jiang)起初(chu)無方向性的熱(re)運動(dong)變成(cheng)有定(ding)向運動(dong)。
萊(lai)寶(bao)真空(kong)生產(chan)的渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)能夠獲(huo)得潔(jie)凈(jing)的高(gao)真(zhen)空(kong)和(he)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong),具(ju)有操作簡(jian)單,可靠性(xing)高(gao)等(deng)特(te)點(dian)。與性(xing)能良(liang)好(hao)的(de)前(qian)級(ji)泵(beng)組(zu)合(he)後(hou),可以(yi)實現低(di)於(yu)10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。
萊(lai)寶(bao)真空(kong)是世界(jie)上渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)領(ling)導(dao)品(pin)牌(pai)之(zhi)壹。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子(zi)泵(beng)成(cheng)功(gong)應用於(yu)許(xu)多(duo)場合(he)。
萊寶(bao)真空(kong)泵(beng)半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)TURBOVAC 450 i/iX
工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)
渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)轉子(zi)是壹個(ge)帶(dai)葉片(pian)的渦(wo)輪,快(kuai)速(su)旋(xuan)轉(zhuan)的(de)葉(ye)片將(jiang)動(dong)量傳(chuan)輸給氣體分子(zi),將(jiang)起初(chu)無方向性的熱(re)運動(dong)變成(cheng)有定(ding)向運動(dong)。
渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)的抽(chou)氣(qi)過程就是使(shi)氣(qi)體分子(zi)從進(jin)氣(qi)口法(fa)蘭定(ding)向運動(dong)到(dao)前(qian)級(ji)真空(kong)口。
在分子(zi)流(liu)範(fan)圍(wei)——也(ye)就是在低(di)於(yu)10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時(shi),氣(qi)體分子(zi)的(de)平(ping)均自由行(xing)程大(da)於(yu)轉子(zi)與定(ding)子(zi)葉(ye)片(pian)之(zhi)間的間距(典(dian)型(xing)為十(shi)分之(zhi)零(ling)點(dian)幾(ji)毫米),分子(zi)主要與轉(zhuan)子(zi)葉(ye)片(pian)碰(peng)撞(zhuang),所(suo)以(yi)
抽(chou)氣(qi)過程非常(chang)高(gao)效(xiao)。
在粘(zhan)滯(zhi)流範(fan)圍,也(ye)就是壓強超(chao)過(guo)10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr),情(qing)況(kuang)則(ze)*不(bu)同(tong),分子(zi)間(jian)的(de)頻(pin)繁碰撞(zhuang)降(jiang)低(di)了轉子(zi)的(de)效(xiao)率。因(yin)此(ci),渦輪分子(zi)泵(beng)無法(fa)在大(da)氣(qi)壓下工(gong)作(zuo),需要適當抽(chou)速(su)的(de)前(qian)級(ji)真空(kong)泵(beng)。
為了使(shi)氣(qi)體分子(zi)產(chan)生定(ding)向運動(dong),轉(zhuan)子(zi)葉(ye)片(pian)的(de)末(mo)端的線速(su)度(du)必須足夠大(da)。所(suo)以(yi),轉子(zi)也(ye)要有相(xiang)應(ying)的高(gao)轉(zhuan)速(su)。對(dui)於(yu)萊寶(bao)真空(kong)的渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)而言,較(jiao)大(da)直(zhi)徑轉子(zi)(例(li)如 TURBOVAC 1000 ,大(da)約(yue)20cm(7.87in.))的(de)轉(zhuan)速(su)大(da)約(yue)為36000rpm,而(er)較(jiao)小(xiao)直徑(jing)轉子(zi)(例(li)如TURBOVAC50,大(da)約(yue)6cm(2.36in.))的(de)轉(zhuan)速(su)為72000rpm。
分子(zi)泵(beng)設(she)計理(li)念(nian)
萊(lai)寶(bao)真空(kong)針對(dui)不(bu)同(tong)應用(yong)提供(gong)基於(yu)不(bu)同(tong)軸承和轉子(zi)技(ji)術的渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)。如TURBOVAC系(xi)列機(ji)械軸承標準(zhun)分子(zi)泵(beng);TURBOVAC MAG系列磁(ci)懸浮(fu)軸(zhou)承分子(zi)泵(beng);TURBOVAC i/iX系列半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)(半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)僅(jin)在排氣(qi)端配置(zhi)脂(zhi)潤(run)滑軸(zhou)承,高(gao)真(zhen)空(kong)端配置(zhi)免維(wei)護(hu)的永磁軸承)。萊寶(bao)真空(kong)的分子(zi)泵(beng)均不(bu)采用(yong)油潤(run)滑軸(zhou)承可以(yi)從理論(lun)上(shang)*避(bi)免分子(zi)泵(beng)對腔(qiang)體產(chan)生碳(tan)氫化(hua)合物(wu)汙(wu)染(ran)並且(qie)保(bao)證所有(you)分子(zi)泵(beng)均可以(yi)任(ren)意(yi)角(jiao)度(du)安裝(zhuang)。

萊(lai)寶(bao)TURBOVAC i 分子(zi)泵(beng)剖面(mian)圖(tu)
TURBOVAC i/iX系(xi)列
TURBOVAC i/iX系(xi)列分子(zi)泵(beng)是萊寶(bao)真空(kong)采用(yong)全新的設(she)計理(li)念(nian)研發(fa)的全新壹代分子(zi)泵(beng)。該(gai)系(xi)列產(chan)品為客戶提供(gong)真(zhen)空的(de)性能和(he)較(jiao)高(gao)的(de)系(xi)統(tong)集成(cheng)度(du)。
TURBOVAC i/iX系(xi)列分子(zi)泵(beng)創(chuang)新的軸承設(she)計*地(di)克(ke)服(fu)了分子(zi)泵(beng)軸承設(she)計的(de)瓶(ping)頸,同(tong)時(shi)滿(man)足了軸承無油和現(xian)場更(geng)換(huan)這(zhe)兩(liang)大(da)設(she)計難點(dian),實現了*壹代(dai)的(de)技(ji)術水平。
TURBOVAC i/iX系(xi)列分子(zi)泵(beng)適合分析(xi)儀(yi)器、科(ke)研和普通工(gong)業(ye)應用(yong)
TURBOVAC產(chan)品線的(de)優(you)勢是:
- 無(wu)油,可以(yi)實現清潔(jie)的(de)高(gao)真(zhen)空(kong)和(he)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)條(tiao)件
- 運(yun)行(xing)高(gao)度(du)可靠
- 耐(nai)輻射
- 設(she)計緊(jin)湊(cou)
TURBOVAC i/iX產(chan)品線的(de)優(you)勢是:
- *款(kuan)無油半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)
- 模(mo)塊化(hua)設(she)計
- 抽(chou)速(su)大(da),壓(ya)比高(gao)
- 免維(wei)護(hu)
- 清潔(jie)無(wu)油
陶(tao)瓷滾(gun)珠軸(zhou)承技(ji)術
所(suo)有的TURBOVAC泵(beng)都(dou)使(shi)用(yong)陶瓷滾(gun)珠軸(zhou)承,軸承終(zhong)生脂(zhi)潤(run)滑。
陶(tao)瓷滾(gun)珠較(jiao)鋼(gang)滾(gun)珠更(geng)輕(qing)、更(geng)硬(ying)和(he)更(geng)光(guang)滑。因(yin)此(ci),使(shi)用(yong)陶瓷滾(gun)珠,座圈的(de)磨損(sun)明(ming)顯(xian)降(jiang)低(di)。延(yan)長軸(zhou)承和分子(zi)泵(beng)的壽命(ming)延(yan)長。
裝(zhuang)有脂(zhi)潤(run)滑的(de)陶瓷滾(gun)珠軸(zhou)承TURBOVAC泵(beng)可以(yi)任(ren)意(yi)方向安裝。由於(yu)滾(gun)珠軸(zhou)承采用封(feng)裝(zhuang)工(gong)藝,所以(yi)即使(shi)分子(zi)倒(dao)置(zhi)安(an)裝,油脂(zhi)也(ye)不(bu)可能進(jin)入(ru)高(gao)真(zhen)空(kong)區域。
TURBOVAC i/iX產(chan)品線的(de)優(you)勢是:
- *款(kuan)無油半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)
- 模(mo)塊化(hua)設(she)計
- 抽(chou)速(su)大(da),壓(ya)比高(gao)
- 免維(wei)護(hu)
- 清潔(jie)無(wu)油
陶(tao)瓷滾(gun)珠軸(zhou)承技(ji)術
所(suo)有的TURBOVAC泵(beng)都(dou)使(shi)用(yong)陶瓷滾(gun)珠軸(zhou)承,軸承終(zhong)生脂(zhi)潤(run)滑。陶(tao)瓷滾(gun)珠較(jiao)鋼(gang)滾(gun)珠更(geng)輕(qing)、更(geng)硬(ying)和(he)更(geng)光(guang)滑。因(yin)此(ci),使(shi)用(yong)陶瓷滾(gun)珠,座圈的(de)磨損(sun)明(ming)顯(xian)降(jiang)低(di)。延(yan)長軸(zhou)承和分子(zi)泵(beng)的壽命(ming)延(yan)長。裝(zhuang)有脂(zhi)潤(run)滑的(de)陶瓷滾(gun)珠軸(zhou)TURBOVAC
泵(beng)可以(yi)任(ren)意(yi)方向安裝。由於(yu)滾(gun)珠軸(zhou)承采用封(feng)裝(zhuang)工(gong)藝,所以(yi)即使(shi)分子(zi)倒(dao)置(zhi)安(an)裝,油脂(zhi)也(ye)不(bu)可能進(jin)入(ru)高(gao)真(zhen)空(kong)區域。
技(ji)術特點(dian)
TURBOVAC i
- 集成(cheng)變頻(pin)器,24/48V DC 電(dian)源供(gong)電(dian)
- 切削成(cheng)型(xing)轉(zhuan)子(zi)和(he)全(quan)新復合級(ji)設(she)計使(shi)分
子(zi)泵(beng)具有(you)超(chao)佳(jia)性能和(he)較(jiao)大(da)抽(chou)速(su),對(dui)輕(qing)
質氣(qi)體尤為突(tu)出
- 任(ren)意(yi)方向安裝
- *的(de)可靠性(xing)源於(yu)創(chuang)新的軸承設(she)計理(li)
念(nian)
- 設(she)計靈(ling)活,適應性強
- 市(shi)場上(shang)壹款(kuan)無油半磁(ci)浮(fu)分子(zi)泵(beng)
- 現(xian)場維(wei)護(更(geng)換(huan)軸(zhou)承),維修成(cheng)本低(di),
時(shi)間(jian)短
- 通(tong)訊接(jie)口齊全(標(biao)配(pei)USB,RS485和
15針(zhen)數字(zi)I/O)
TURBOVAC iX
- 集成(cheng)真空系(xi)統(tong)控(kong)制(zhi)器配(pei)置靈(ling)活的通(tong)訊(xun)
接(jie)口和附件控(kong)制(zhi)接(jie)口(用於(yu)控制(zhi)冷卻(que)
單元(yuan),閥門(men),規管(guan)和前(qian)級(ji)泵(beng)等)
- 附件齊全,即插即用(yong)
- 適應性強,適合各類真(zhen)空工(gong)藝
TURBOVAC T i, T iX
- 標(biao)準(zhun)分子(zi)泵(beng)(不(bu)含復合級(ji))
- 帶(dai)氣載(zai)能力強
- 耐(nai)粉(fen)塵(chen)
- 啟動(dong)時(shi)間(jian)短
典(dian)型(xing)應(ying)用(yong)
- 分析(xi)儀(yi)器/科(ke)研
- 質譜(pu)儀(yi)
- 電(dian)子(zi)顯(xian)微鏡
- 表(biao)面(mian)分析(xi)儀(yi)
- 加(jia)速(su)器(qi)和(he)同(tong)步(bu)加(jia)速(su)器(qi)
- X射線分析(xi)儀(yi)
- 實驗(yan)室(shi)鍍(du)膜系(xi)統(tong)
- MBE
- 超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)
- 生命(ming)科(ke)學
- 放(fang)射醫療(liao)
- 伽(jia)馬(ma)射線滅(mie)菌(jun)
- 高(gao)品(pin)質植(zhi)入物(wu)生產(chan)
- 工(gong)業(ye)和鍍(du)膜應(ying)用(yong)
- PVD鍍(du)膜設(she)備(bei)
- 光(guang)學鍍(du)膜設(she)備(bei)
- CD/DVD/藍(lan)光(guang)光(guang)碟生產(chan)
- 薄膜太陽能
- 進(jin)樣(yang)室(shi)/轉(zhuan)移室(shi)/傳(chuan)輸室(shi)
- 電(dian)子(zi)束焊機
- 檢(jian)漏/真空絕熱(re)
TURBOVAC | 350 i | T 350 i | 450 i | T 450 i |
RS 485, USB+, 15-針 I/O 接(jie)口 | ||||
高(gao)真(zhen)空(kong)法(fa)蘭 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
產(chan)品(pin)號(hao) | 830051V1000 | 830050V1000 | 830071V1000 | 830070V1000 |
高(gao)真(zhen)空(kong)法(fa)蘭 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
產(chan)品(pin)號(hao) | 830061V1000 | 830060V1000 | 830081V1000 | 830080V1000 |
可選(xuan)接(jie)口(RS 232, Profibus), USB+, 15-針 I/O 接(jie)口 : 根(gen)據(ju)需(xu)求選擇(ze) | ||||
TURBOVAC | 350 iX | T 350 iX | 450 iX | T 450 iX |
USB+, 15-針 I/O 接(jie)口 | ||||
高(gao)真(zhen)空(kong)法(fa)蘭 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
產(chan)品(pin)號(hao) | 830051V3000 | 830050V3000 | 830071V3000 | 830070V3000 |
高(gao)真(zhen)空(kong)法(fa)蘭 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
產(chan)品(pin)號(hao) | 830061V3000 | 830060V3000 | 830081V3000 | 830080V3000 |
技(ji)術參數 TURBOVAC
350i/ix 450i/ix T350i/ix T450i/ix
進(jin)氣(qi)口法(fa)蘭 | DN | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K |
100 CF | 160 CF | 100 CF | 160 CF | ||
前(qian)級(ji)法(fa)蘭 | DN | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF |
抽(chou)速(su) | |||||
N2 | I x s-1 | 290 | 430 | 290 | 430 |
Ar | I x s-1 | 260 | 400 | 260 | 400 |
He | I x s-1 | 360 | 440 | 360 | 440 |
H2 | I x s-1 | 350 | 420 | 320 | 400 |
氣(qi)載(zai)量 | |||||
N2 | mbar x I x s-1 | 4 5 | 4 5 | 11 5 | 11 5 |
Ar | mbar x I x s-1 | 2 0 | 2 0 | 6 0 | 6 0 |
He | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
H2 | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
壓縮比 | |||||
N2 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1010 | 1 x 1010 | |
Ar | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | |
He | 1 x 108 | 1 x 108 | 1 x 106 | 1 x 106 | |
H2 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 104 | 1 x 104 | |
極(ji)限(xian)壓強 | |||||
(雙(shuang)級(ji)旋片(pian)泵(beng)做前級(ji)) | |||||
ISO-K / CF | mbar | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 |
最(zui)大(da)前(qian)級(ji)耐壓(ya) | |||||
N2 | mbar (Torr) | 10 0 (7 5) | 10 0 (7 5) | 0 5 (0 375) | 0 5 (0 375) |
推薦(jian)的前級(ji)泵(beng) | |||||
TRIVAC | D 4 B | D 4 B | D 16 B | D 16 B | |
SCROLLVAC | SC 5 D / 15 D | SC 5 D / 15 D | SC 15 D / 30 D | SC 15 D / 30 D | |
DIVAC | 3 8 HV3 | 3 8 HV3 | – | – | |
轉速(su) | min-1 (rpm) | 60 000 | 60 000 | 60 000 | 60 000 |
轉(zhuan)速(su)調(tiao)節(jie)範(fan)圍(wei) | % | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至100 |
加(jia)速(su)時(shi)間(jian)約(yue) | min | 5 5 | 5 5 | 3 5 | 3 5 |
環(huan)境溫(wen)度(du)要求 | |||||
運行(xing) | °C | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至(zhi) +45 | +5 至 +45 |
(°F) | (+41 至(zhi) +113) | (+41 至(zhi) +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | |
儲存 | °C | -15 至(zhi) -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至(zhi) -70 |
(°F) | (+5 至(zhi) -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至(zhi) -94) | |
冷卻(que)方式 | |||||
標配(pei) | 對(dui)流 | 對流(liu) | 對流(liu) | 對(dui)流(liu) | |
可選(xuan) | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 | 風冷或水冷 | |
水冷接(jie)口 | |||||
6 x 1軟管(guan)接(jie)頭(tou) | 6 x 1軟管(guan)接(jie)頭(tou) | 6 x 1軟管(guan)接(jie)頭(tou) | 6 x 1軟管(guan)接(jie)頭(tou) | ||
或1/8”管(guan)螺紋(wen) | 或1/8”管螺紋(wen) | 或1/8”管螺紋(wen) | 或1/8”管螺紋(wen) | ||
冷卻(que)水流量 | l/h | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至(zhi) 100 |
冷卻(que)水壓力要求(g) | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | |
冷卻(que)水溫(wen)度(du)要求 | °C | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 |
(°F) | (+59 至 +95) | (+59 至(zhi) +95) | (+59 至 +95) | (+59 至(zhi) +95) | |
噪(zao)聲(sheng) | |||||
對(dui)流(liu)冷卻(que) | db(A) | < 44 | < 44 | < 44 | < 44 |
帶(dai)徑向冷卻(que)風扇 | db(A) | < 47 | < 47 | < 47 | < 47 |
帶(dai)軸向冷卻(que)風扇 | db(A) | < 49 | < 49 | < 49 | < 49 |
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