英國愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪分子真(zhen)空泵(beng)STPA1603C ISO200F 進氣口

概述

小巧(qiao)而強大的(de) Edwards STPA1603C 渦(wo)輪分子泵(beng)采(cai)用(yong) Edwards 良好(hao)的轉子技(ji)術(shu)進行設(she)計(ji)。它(ta)提供(gong)*的吞(tun)吐(tu)量(liang)、高的(de)可靠性(xing)和(he)的性(xing)能(neng)，滿(man)足新(xin)壹(yi)代(dai)半導(dao)體制程的(de)需要。其(qi)半機(ji)架(jia)的(de)控(kong)制(zhi)器(qi)和(he)緊湊(cou)型(xing)設(she)計(ji)可節省可觀(guan)的(de)空(kong)間(jian)，而(er)其(qi)良好(hao)的沈(chen)積減(jian)少(shao)系統(tong)提高(gao)了(le)可靠性(xing)和(he)性能(neng)。STPA1603C 已經(jing)在的 200 mm 刻(ke)蝕工具(ju)上得到了(le)證明，也(ye)能(neng)夠(gou)滿足(zu)新(xin)壹(yi)代(dai) 300 mm 氧化物(wu)腐(fu)蝕(shi)制(zhi)程的(de)需要。愛(ai)德(de)華(hua)STPA1603C STPA2203C渦(wo)輪分子真(zhen)空泵(beng)

應(ying)用

• 金屬（鋁(lv)）、鎢(wu)和(he)電(dian)介質（氧化物(wu)）以(yi)及多晶矽等離(li)子(zi)刻(ke)蝕（氯化(hua)物、氟化物(wu)和(he)溴(xiu)化物(wu)）
• 電(dian)子(zi)回(hui)旋共(gong)振(zhen) (ECR) 刻(ke)蝕
• 薄(bo)膜沈(chen)積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺(jian)射(she)
• 離(li)子(zi)註(zhu)入源(yuan)，射(she)束線泵(beng)送(song)端點站
• MBE
• 擴(kuo)散
• 光(guang)致抗蝕劑脫模(mo)
• 晶體/晶膜生長(chang)
• 晶片檢(jian)查(zha)
• 負(fu)載(zai)鎖(suo)真(zhen)空腔(qiang)
• 科(ke)學(xue)儀器(qi)：表(biao)面分(fen)析、質譜分(fen)析(xi)、電(dian)子(zi)顯微(wei)鏡
• 高(gao)能(neng)物(wu)理：射(she)束線、加(jia)速器(qi)
• 放射(she)線應(ying)用：融合系統(tong)、回(hui)旋愛(ai)德(de)華(hua)STPA1603C STPA2203C渦(wo)輪分子真(zhen)空泵(beng)

  功(gong)能(neng)和(he)優勢(shi)

  良好(hao)的轉子設(she)計(ji)  

• 改(gai)進的性(xing)能(neng)

• 更(geng)高的(de)氣體吞(tun)吐(tu)量(liang)

• 高度(du)可靠

• 免(mian)維護(hu)

• 可用(yong)於(yu)嚴(yan)苛制(zhi)程

• 5 軸磁(ci)懸(xuan)浮(fu)系統(tong)  

• 無(wu)汙染

• 低振(zhen)動(dong)

• 防腐(fu)蝕(shi)  

• 可用(yong)於(yu)嚴(yan)苛制(zhi)程

• 使(shi)用(yong)壽命延(yan)長(chang)

• 緊湊(cou)型(xing)設(she)計(ji)  

• 占(zhan)地(di)面(mian)積小(xiao)

• 半機(ji)架(jia)控(kong)制(zhi)器(qi)

• 良好(hao)的控(kong)制器(qi)設(she)計(ji) 

• 自(zi)動(dong)調(tiao)整

• 自行診斷(duan)功(gong)能(neng)

• 直流(liu)電(dian)機(ji)驅動(dong)

• 無(wu)電(dian)池(chi)運行(xing)

  技(ji)術(shu)數據

  入口法(fa)蘭(lan)	ISO200F
  出口	KF40
  吹掃口	KF16
  水(shui)冷(leng)卻(que)接(jie)頭(tou)	PT1/4
  抽(chou)速
  N2	1600 ls-1
  H2	1200 ls-1
  壓(ya)縮比
  N2	>108
  H2	>7 x 103
  加(jia)熱(re)時(shi)的(de)極限(xian)壓(ya)力	10-7 Pa
  大允(yun)許前級壓(ya)力	266 Pa
  	(2 Torr)
  大氮(dan)氣吞(tun)吐(tu)量(liang)	2500 sccm
  額定(ding)速度(du)	36500 rpm
  啟動(dong)時(shi)間(jian)	7 分鐘
  固定位(wei)置(zhi)	任意
  水(shui)冷(leng)卻(que)流(liu)量	2 lmin-1
  溫度(du)	5-25 °C
  壓(ya)力	0.3 MPa
  推(tui)薦的(de)吹掃氣體流(liu)量	20 sccm
  輸入電(dian)壓(ya)	200 至(zhi) 240 (± 10) V 交(jiao)流(liu)
  功耗	0.85 kVA
  泵(beng)重(zhong)量(liang)	35 kg
  控(kong)制(zhi)器(qi)重(zhong)量(liang)	9 kg

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壹(yi)、進口真(zhen)空泵(beng)維修：
1、BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華(hua))：GV系列(lie)(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(lie)(IQDP80)、QDP系列(lie)、DP系列(lie)、E1M系列(lie)、E2M系列(lie)、EH系列(lie)、QMB系列(lie)、RV系列(lie)、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(lie)(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(lie)(ADP122)、ACP系列(lie)(ACP28、ACP40)、RHV系列(lie)、SD系列(lie)、C1系列(lie)、C2系列(lie)、I系列(lie)、H1系列(lie)、A系列(lie)等。
3、LEYBOLD(萊(lai)寶)：SV系列(lie)(SV65B等)、SC系列(lie)、DIVAC系列(lie)、DK系列(lie)、DRYVAC系列(lie)、WS系列(lie)、SP系列(lie)、TRIVAC系列(lie)、WH/WHU系列(lie)等
4、EBARA(易巴拉(la))：A系列(lie)、AV系列(lie)、AW系列(lie)、AA系列(lie)、AAS系列(lie)、X系列(lie)等。
5、KASHIYAMA：MU系列(lie)、SDE系列(lie)、SDL系列(lie)、KMB系列(lie)、NeoDRY系列(lie)等。
6、ORION(好(hao)利(li)旺)：KRX系列(lie)、CBX系列(lie)、KRF系列(lie)、KHF系列(lie)、KHA系列(lie)、KRA系列(lie)、KHH系列(lie)等。
7、BECKER(貝(bei)克(ke))：U系列(lie)、VT系列(lie)、KVT系列(lie)、VTLF系列(lie)、T系列(lie)、DVT系列(lie)、DVTLF系列(lie)等。
8、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂(le))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油(you)旋(xuan)片真(zhen)空泵(beng)系列(lie)、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹(gan)式(shi)旋(xuan)片真(zhen)空/壓(ya)縮泵(beng)系列(lie)、VL/DT/KT幹(gan)式(shi)旋(xuan)片真(zhen)空/壓(ya)縮泵(beng)系列(lie)等。
9、ULVAC(愛(ai)發科(ke))：GLD油(you)旋(xuan)片真(zhen)空泵(beng)系列(lie)、VDN/VSN油(you)選片真(zhen)空泵(beng)系列(lie)、PVD油(you)旋(xuan)片真(zhen)空泵(beng)系列(lie)等。
10、VIRIAN(瓦(wa)裏安(an))：DS/HS/SD/CD系列(lie)油(you)旋(xuan)片真(zhen)空泵(beng)系列(lie)、TS/DS幹(gan)式(shi)真(zhen)空泵(beng)系列(lie)等。
11、IWATA（巖(yan)田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢(han)鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二(er)、進口真(zhen)空泵(beng)配(pei)件(jian)銷(xiao)售：
1、類型(xing)：真(zhen)空泵(beng)維修包(bao)、旋片、軸承(cheng)、油(you)封(feng)、過(guo)濾(lv)器(qi)、轉子、軸(zhou)、隔板(ban)、密封圈(quan)、定位(wei)銷(xiao)、控制板等。
2、品(pin)牌(pai)：BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華(hua))、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊(lai)寶)、EBARA(依巴拉(la))、KASHIYAMA、ORION(好(hao)利旺(wang))、BECKER(貝克(ke))、RIETSCHLE(裏(li)其(qi)樂(le))、ULVAC(愛(ai)發科(ke))、VIRIAN(瓦(wa)裏安(an))等。

三、進口真(zhen)空油(you)銷(xiao)售(shou)：
品(pin)牌(pai)：FOMBLIN真(zhen)空油(you)、EDWARDS真(zhen)空油(you)、ADIXEN真(zhen)空油(you)等。