英(ying)國愛(ai)德(de)華渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)STPH301C 

概(gai)述

Edwards 的高(gao)性(xing)能(neng) STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)泵是(shi)為(wei)嚴(yan)苛(ke)的半(ban)導體應用而設(she)計的。這(zhe)種(zhong)泵經(jing)過實踐檢驗(yan)的可(ke)靠性(xing)和性(xing)能(neng)可(ke)以實現大的制(zhi)程(cheng)靈(ling)活(huo)性(xing)。STPH301C 已(yi)經(jing)由半(ban)導體和磁(ci)介(jie)質(zhi)行(xing)業(ye)的大型設備(bei)制(zhi)造(zao)商投入(ru)使用，並得(de)到(dao)了認(ren)可(ke)。愛(ai)德(de)華STPH301C STPH451C渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

應用

• 金屬（鋁(lv)）、鎢(wu)和電介(jie)質(zhi)（氧(yang)化物）以及多(duo)晶(jing)矽(gui)等(deng)離(li)子(zi)刻蝕(shi)（氯(lv)化物(wu)、氟(fu)化物和溴(xiu)化(hua)物）
• 電子(zi)回旋共振 (ECR) 刻蝕(shi)
• 薄(bo)膜沈(chen)積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺(jian)射
• 離(li)子(zi)註入(ru)源，射束(shu)線(xian)泵(beng)送端點站(zhan)
• MBE
• 擴(kuo)散(san)
• 光致(zhi)抗蝕劑(ji)脫模
• 晶(jing)體(ti)/晶(jing)膜(mo)生(sheng)長
• 晶(jing)片檢查(zha)
• 負(fu)載(zai)鎖(suo)真(zhen)空(kong)腔(qiang) 
• 科(ke)學(xue)儀器：表面(mian)分(fen)析、質譜(pu)分(fen)析(xi)、電子(zi)顯微鏡
• 高能(neng)物(wu)理：射束(shu)線(xian)、加(jia)速器(qi)
• 放(fang)射線(xian)應用：融(rong)合(he)系(xi)統(tong)、回旋

  功(gong)能(neng)和優(you)勢(shi)

  良好(hao)的轉子(zi)技術  

• 更高的氣(qi)體(ti)吞(tun)吐(tu)量

• 大的制(zhi)程(cheng)靈(ling)活(huo)性(xing)

• 無(wu)油

• 低(di)振動

• 高(gao)度(du)可靠

• 免(mian)維護(hu)

• 可(ke)用於嚴(yan)苛(ke)制(zhi)程(cheng)

• 使用壽(shou)命延長(chang)

• 良(liang)好(hao)的控(kong)制(zhi)器(qi)設計  

• 自動調(tiao)整

• 自行診斷(duan)功(gong)能(neng)

• 直(zhi)流電機(ji)驅(qu)動(dong)

• 無(wu)電池(chi)運行(xing)

• 緊(jin)湊(cou)型(xing)設(she)計  

• 占(zhan)地(di)面(mian)積小

• 半機(ji)架(jia)控制(zhi)器(qi)

• 5 軸(zhou)磁(ci)懸(xuan)浮系統

• 無(wu)汙(wu)染

• 少維護(hu) 愛(ai)德(de)華STPH301C STPH451C渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

• 任(ren)意(yi)方向操(cao)作 

  技術數據(ju)

  入(ru)口法(fa)蘭	ISO100K
  出(chu)口	KF40
  吹掃(sao)口(kou)	KF10
  水冷(leng)卻(que)接頭(tou)	PT1/4
  抽(chou)速(su)
  N2	300 ls-1
  H2	200 ls-1
  壓縮比(bi)
  N2	>108
  H2	103
  加(jia)熱時(shi)的極(ji)限(xian)壓力	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  大連續出(chu)口壓力	660 Pa
  	(5 Torr)
  大氮氣(qi)吞(tun)吐(tu)量	2500 sccm
  額(e)定速度	48000 rpm
  啟(qi)動時(shi)間	4 分(fen)鐘
  高入(ru)口法(fa)蘭溫(wen)度	120 °C
  輸(shu)入(ru)電壓	100 至 120 (± 10) V 交(jiao)流或(huo)
  	200 至 240 (± 10) V 交(jiao)流
  功(gong)耗	0.6 kVA
  泵(beng)重量	15 kg
  控制(zhi)器(qi)重量	9 kg

 蘇州昆(kun)山(shan)太倉(cang)無(wu)錫上海(hai)張家(jia)港吳(wu)江(jiang)常熟(shu)鎮江(jiang)愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

常州揚(yang)州泰(tai)州南通南京啟(qi)東海(hai)門如臯(gao)海(hai)門海(hai)安愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)
如(ru)東(dong)宿遷徐州合(he)肥(fei)蕪(wu)湖(hu)杭州湖(hu)州溫(wen)州臺州衢(qu)州愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

紹(shao)興(xing)金華寧波(bo)余(yu)姚(yao)福州廈(sha)門泉(quan)州深圳(zhen)廣(guang)州珠(zhu)海(hai)愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

廣(guang)州惠(hui)州通州桂林(lin)南寧南昌贛(gan)州武(wu)漢成(cheng)都(dou)重慶(qing)愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

荊(jing)州太原(yuan)蘭州烏(wu)魯木(mu)齊(qi)石(shi)家(jia)莊天津(jin)長春(chun)吉(ji)林(lin)愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

濟南青(qing)島(dao)威(wei)海(hai)德(de)州連(lian)雲(yun)港(gang)昆(kun)明九(jiu)江安慶愛(ai)德(de)華STPH451C STPH301C 渦(wo)輪(lun)分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)

壹(yi)、進(jin)口真(zhen)空(kong)泵(beng)維修(xiu)：
1、BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華)：GV系列(lie)(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(lie)(IQDP80)、QDP系(xi)列(lie)、DP系(xi)列、E1M系(xi)列、E2M系列、EH系(xi)列(lie)、QMB系(xi)列(lie)、RV系(xi)列(lie)、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡(ka)特)：ADS系(xi)列(lie)(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(lie)(ACP28、ACP40)、RHV系列(lie)、SD系列(lie)、C1系列、C2系(xi)列(lie)、I系列、H1系(xi)列(lie)、A系(xi)列(lie)等(deng)。
3、LEYBOLD(萊寶(bao))：SV系列(lie)(SV65B等)、SC系列(lie)、DIVAC系(xi)列(lie)、DK系列、DRYVAC系(xi)列、WS系(xi)列、SP系列、TRIVAC系(xi)列、WH/WHU系(xi)列等
4、EBARA(易(yi)巴(ba)拉)：A系列(lie)、AV系(xi)列、AW系(xi)列(lie)、AA系(xi)列(lie)、AAS系(xi)列(lie)、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系(xi)列、SDE系列、SDL系(xi)列(lie)、KMB系列(lie)、NeoDRY系列等(deng)。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系(xi)列(lie)、KHF系(xi)列(lie)、KHA系(xi)列、KRA系列、KHH系列(lie)等。
7、BECKER(貝克)：U系(xi)列、VT系(xi)列(lie)、KVT系(xi)列(lie)、VTLF系(xi)列、T系(xi)列(lie)、DVT系(xi)列、DVTLF系(xi)列(lie)等(deng)。
8、RIETSCHLE(裏其樂(le))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油(you)旋片真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹式(shi)旋片真(zhen)空(kong)/壓縮泵系(xi)列、VL/DT/KT幹式(shi)旋片真(zhen)空(kong)/壓縮泵系(xi)列等(deng)。
9、ULVAC(愛(ai)發科(ke))：GLD油(you)旋片真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、VDN/VSN油選片真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、PVD油旋片真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)等。
10、VIRIAN(瓦裏安)：DS/HS/SD/CD系列(lie)油旋片真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)、TS/DS幹式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)系(xi)列(lie)等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jin)口真(zhen)空(kong)泵(beng)配(pei)件(jian)銷(xiao)售：
1、類型(xing)：真(zhen)空(kong)泵(beng)維修(xiu)包(bao)、旋片、軸(zhou)承、油封、過濾器(qi)、轉子(zi)、軸(zhou)、隔(ge)板、密封圈、定位銷(xiao)、控制(zhi)板等。
2、品(pin)牌：BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華)、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡(ka)特)、LEYBOLD(萊寶(bao))、EBARA(依巴(ba)拉)、KASHIYAMA、ORION(好利(li)旺(wang))、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裏(li)其樂(le))、ULVAC(愛(ai)發科(ke))、VIRIAN(瓦裏安)等。

三(san)、進(jin)口真(zhen)空(kong)油(you)銷(xiao)售：
品(pin)牌：FOMBLIN真(zhen)空(kong)油(you)、EDWARDS真(zhen)空(kong)油(you)、ADIXEN真(zhen)空(kong)油(you)等(deng)。