英國(guo)愛(ai)德(de)華(hua)渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)STPA803C ISO160F 進(jin)氣(qi)口

概述(shu)

Edwards STPA803C 渦(wo)輪分子(zi)泵(beng)是(shi)為半(ban)導(dao)體(ti)應(ying)用(yong)而設(she)計(ji)的。Edwards 的良好轉(zhuan)子(zi)技(ji)術可(ke)實現(xian)的性能(neng)和(he)大(da)的制程(cheng)靈活(huo)性。STPA803C 已(yi)經由(you)半(ban)導體(ti)和(he)磁(ci)介(jie)質行業(ye)的(de)大型(xing)設備制造商(shang)投入(ru)使用(yong)，並得(de)到了(le)認可(ke)。愛(ai)德(de)華(hua)STPA803C STPA1303C渦(wo)輪分子(zi)真(zhen)空泵(beng)

應(ying)用(yong)

• 金(jin)屬（鋁(lv)）、鎢(wu)和(he)電(dian)介(jie)質（氧(yang)化(hua)物(wu)）以(yi)及多晶(jing)矽(gui)等離子(zi)刻(ke)蝕(shi)（氯(lv)化(hua)物(wu)、氟(fu)化(hua)物(wu)和(he)溴(xiu)化(hua)物(wu)）
• 電(dian)子(zi)回旋共振(zhen) (ECR) 刻(ke)蝕(shi)
• 薄(bo)膜(mo)沈(chen)積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子(zi)註入(ru)源(yuan)，射束線(xian)泵(beng)送(song)端(duan)點(dian)站(zhan)
• MBE
• 擴散(san)
• 光(guang)致(zhi)抗(kang)蝕(shi)劑(ji)脫模
• 晶(jing)體(ti)/晶(jing)膜(mo)生長(chang)
• 晶(jing)片(pian)檢查(zha)
• 負載鎖真(zhen)空腔(qiang)
• 科(ke)學儀(yi)器(qi)：表面分析(xi)、質譜(pu)分析(xi)、電子(zi)顯微鏡
• 高(gao)能(neng)物(wu)理(li)：射束線(xian)、加(jia)速器(qi)
• 放(fang)射線(xian)應用：融合(he)系(xi)統(tong)、回旋愛(ai)德(de)華(hua)STPA803C STPA1303C渦(wo)輪分子(zi)真(zhen)空泵(beng)

  功(gong)能(neng)和(he)優(you)勢

  良(liang)好的轉(zhuan)子(zi)技(ji)術 

• 大(da)的制程(cheng)靈活(huo)性

• 無(wu)油

• 低振(zhen)動

• 高(gao)度(du)可靠

• 免維護

• 可(ke)用於嚴(yan)苛制程(cheng)

• 使用(yong)壽命延長

• 良(liang)好的控(kong)制器(qi)設(she)計(ji) 

• 自(zi)動調整(zheng)

• 自行診斷(duan)功能(neng)

• 直(zhi)流(liu)電機驅(qu)動

• 無電(dian)池運行

• 緊湊型設計(ji) 

• 占(zhan)地(di)面積小

• 半(ban)機架控(kong)制器(qi)

  技(ji)術データ

  入(ru)口法蘭	ISO160F
  出(chu)口	KF40
  吹掃(sao)口	KF10
  水冷(leng)卻接(jie)頭	PT1/4
  抽(chou)速
  N2	800 ls-1
  H2	520 ls-1
  壓縮(suo)比
  N2	>108
  H2	103
  加(jia)熱(re)時(shi)的(de)極(ji)限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
  大(da)連續出(chu)口壓力	270 Pa (2 Torr)
  大(da)氮氣(qi)吞(tun)吐(tu)量(liang)	1500 sccm
  額定(ding)速度(du)	32500 rpm
  啟動時(shi)間(jian)	7 分鐘(zhong)
  高(gao)入(ru)口法蘭溫度(du)	120 °C
  輸入(ru)電壓(ya)	200 至 240 (± 10) V 交(jiao)流(liu)
  功耗(hao)	0.85 kVA
  泵(beng)重(zhong)量(liang)	39 kg
  控(kong)制器(qi)重(zhong)量(liang)	9 kg

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常(chang)州揚(yang)州泰(tai)州(zhou)南(nan)通(tong)南(nan)京啟東海(hai)門(men)如臯海(hai)門(men)海(hai)安(an)愛(ai)德(de)華(hua)STPA1303C、STPA803C 渦(wo)輪分子(zi)真(zhen)空泵(beng)
如東宿(xiu)遷徐州(zhou)合(he)肥蕪湖(hu)杭州(zhou)湖州(zhou)溫(wen)州(zhou)臺州(zhou)衢(qu)州愛(ai)德(de)華(hua)STPA1303C、STPA803C 渦(wo)輪分子(zi)真(zhen)空泵(beng)

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壹(yi)、進(jin)口真(zhen)空泵(beng)維修：
1、BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華(hua))：GV系(xi)列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系(xi)列(IQDP80)、QDP系(xi)列、DP系(xi)列、E1M系(xi)列、E2M系(xi)列、EH系(xi)列、QMB系(xi)列、RV系(xi)列、ESDP12、GVSP30等(deng)。
2、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡特)：ADS系(xi)列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系(xi)列(ADP122)、ACP系(xi)列(ACP28、ACP40)、RHV系(xi)列、SD系(xi)列、C1系(xi)列、C2系(xi)列、I系(xi)列、H1系(xi)列、A系(xi)列等(deng)。
3、LEYBOLD(萊寶(bao))：SV系(xi)列(SV65B等(deng))、SC系(xi)列、DIVAC系(xi)列、DK系(xi)列、DRYVAC系(xi)列、WS系(xi)列、SP系(xi)列、TRIVAC系(xi)列、WH/WHU系(xi)列等(deng)
4、EBARA(易(yi)巴拉(la))：A系(xi)列、AV系(xi)列、AW系(xi)列、AA系(xi)列、AAS系(xi)列、X系(xi)列等(deng)。
5、KASHIYAMA：MU系(xi)列、SDE系(xi)列、SDL系(xi)列、KMB系(xi)列、NeoDRY系(xi)列等(deng)。
6、ORION(好利(li)旺(wang))：KRX系(xi)列、CBX系(xi)列、KRF系(xi)列、KHF系(xi)列、KHA系(xi)列、KRA系(xi)列、KHH系(xi)列等(deng)。
7、BECKER(貝(bei)克)：U系(xi)列、VT系(xi)列、KVT系(xi)列、VTLF系(xi)列、T系(xi)列、DVT系(xi)列、DVTLF系(xi)列等(deng)。
8、RIETSCHLE(裏(li)其樂(le))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空泵(beng)系(xi)列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ幹(gan)式旋片(pian)真(zhen)空/壓(ya)縮(suo)泵(beng)系(xi)列、VL/DT/KT幹(gan)式旋片(pian)真(zhen)空/壓(ya)縮(suo)泵(beng)系(xi)列等(deng)。
9、ULVAC(愛(ai)發(fa)科(ke))：GLD油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空泵(beng)系(xi)列、VDN/VSN油選片真(zhen)空泵(beng)系(xi)列、PVD油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空泵(beng)系(xi)列等(deng)。
10、VIRIAN(瓦裏(li)安(an))：DS/HS/SD/CD系(xi)列油旋(xuan)片(pian)真(zhen)空泵(beng)系(xi)列、TS/DS幹(gan)式真(zhen)空泵(beng)系(xi)列等(deng)。
11、IWATA（巖(yan)田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢(han)鐘(zhong)）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真(zhen)空泵(beng)配(pei)件銷(xiao)售：
1、類型：真(zhen)空泵(beng)維修包、旋片、軸(zhou)承、油封(feng)、過濾(lv)器(qi)、轉(zhuan)子(zi)、軸(zhou)、隔(ge)板(ban)、密(mi)封(feng)圈、定(ding)位銷、控(kong)制板(ban)等(deng)。
2、品(pin)牌：BOC EDWARDS(愛(ai)德(de)華(hua))、ALCATEL(阿(e)爾(er)卡特)、LEYBOLD(萊寶(bao))、EBARA(依巴(ba)拉(la))、KASHIYAMA、ORION(好利(li)旺(wang))、BECKER(貝(bei)克)、RIETSCHLE(裏(li)其樂(le))、ULVAC(愛(ai)發(fa)科(ke))、VIRIAN(瓦裏(li)安(an))等。

三(san)、進(jin)口真(zhen)空油銷(xiao)售(shou)：
品(pin)牌：FOMBLIN真(zhen)空油、EDWARDS真(zhen)空油、ADIXEN真(zhen)空油等(deng)。